p型ZnO的制备以及衬底温度对薄膜特性的影响.pdfVIP

! 第# 卷 第$ 期! ! ! ! ! ! ! ! ! 人! 工! 晶! 体! 学! 报! ! ! ! ! ! ! ! %’( #! )( $! ! *++, 年- 月! ! ! ! ! ! ! ! ! ./01)23 /4 56)7897:; ;1657235 ! ! ! ! ! ! ! ! ! 2=? ，*++, ! ! ! 型!# 的制备以及衬底温度对薄膜特性的影响 @，* * * * * @ @ 范红兵 ，张晓丹 ，赵! 颖 ，孙! 建 ，魏长春 ，谷士彬 ，张存善 （@( 河北工业大学信息学院，天津++ @+ ；* ( 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所， 南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室， 光电信息技术科学教育部重点实验室（南开大学，天津大学），天津+++A @ ） 摘要：本文主要讨论了采用改进的超声雾化设备制备了不同衬底温度条件下的BC/ 薄膜。研究了该系统下不同衬 底温度对BC/ 薄膜电学、结构特性的影响。霍耳测试结果表明：获得了! 型BC/ 薄膜，其载流子浓度高达 @( + D @+@E FGH 。样品的I 射线衍射和场发射扫描电子显微镜的测试结果显示，在该系统下$#+J 时薄膜结晶性能最佳。 关键词：BC/ ；! 型传导；超声喷雾热分解；衬底温度 中图分类号： 7)+* ! ! 文献标识码：2 ! ! 文章编号：@+++HE-#I（*++, ）+$H+AEH+$ $%’()*) +, ! -%.( !# /’* 0*12) 34 5,16(7( +, $68)93( /(2.(9369( + /’(*9 :9+.(9*() @，* * * * * @ @ #$ %’()*+’( ，,%#$- .+/)0/’ ，,%#1 2+’( ，34$ 5+/’ ，678 9:/’();:’ ，-4 3:+)*+’ ，,%#$- 9’)=:/’ （@( ;’’K=K L :CLMGN?OC 9C=OCKKMOC= ，8KPKO 0COQKMO?R L 7KFSC’=R ，7ONCTOC ++ @+ ，;SOCN ； * ( :C?O??K L US?HK’KF?MCOF 7SOC 4O’G VKQOFK NCW 7KFSCOXK L )NCYNO 0COQKMO?R ， ZKR 3NPMN?MR L US?HK’KF?MCOF 7SOC 4O’G VKQOFK NCW 7KFSCOXK L 7ONCTOC ，)NCYNO 0COQKMO?R ， ZKR 3NPMN?MR L /[?HK’KF?MCOF :CLMGN?OC 5FOKCFK NCW 7KFSC’=R （)NCYNO 0COQKMO?R ，7ONCTOC 0COQKMO?R ），\OCO?MR L 9WFN?OC ，7ONCTOC +++A@，;SOCN ） （?;?+@?0 *# 5/’/AB *++, ） ;8)937 ：5KMOK L BC/ ?SOC LO’G ]KMK WK[O?KW N? WOLLKMKC? P?MN?K ?KG[KMN?MK PR ?SK OG[MQKW ’?MNCOF [MNR