Sb掺杂SnO2SiO2纳米光学气敏薄膜的制备及其性质.pdfVIP

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2015-08-31 发布于湖北
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光电子 ·激光第卷第期年月 - 15 4 2004 4 Vol.15 No.4 A r.2004 Journalo O toelectronics Laser p f p 掺杂／纳米光学气敏薄膜的制备及其性质 Sb Sn0 Si0 2 2 1 2 2 顾铮先 !梁培辉 !张伟清 ( 上海理工大学理学院光电功能薄膜实验室上海 ; 中国科学院上海光学精密机械研究所 1. 200093 2. 上海 201800 摘要:采用溶胶凝胶( 工艺制备了掺杂 / 复合膜通过射线衍射( ~ 傅立叶 - sol- el Sb SnO SiO X XRD g 2 2 变换红外谱(FT-IR 及原子力显微镜(AFM 表征了薄膜样品的物相结构与表面形貌利用紫外可见光- 谱研究了复合薄膜光学特性利用偏振光双面反射法对薄膜的气敏特性进行了测试实验结果表明 P_ 薄膜中的晶粒具有纳米尺寸( ~35 nm 的大小比表面积大孔隙率高; 薄膜的透光率高可见光波段近 ;纳米 : / 复合膜的气敏灵敏度高于纯薄膜及掺杂的薄膜 95 Sb SnO SiO SnO Sb SnO 2 2 2 2 关键词:溶胶凝胶( 法; 纳米薄膜; 光学参数; 气敏特性 - sol- el g 中图分类号! 文献标识码! 文章编号!