SnO2纳米薄膜氢敏特性的研究.pdfVIP

陶春曼等：Sn()，纳米薄膜氢敏特性的研究 Sn()。纳米薄膜氢敏特性的研究。 陶春昊1，殷晨波1，张子立1，朱斌1，涂善东2 (1．南京工业大学机械与动力工程学院．江苏南京210009；2．华东理工大学机械与动力工程学院，上海200237) 摘要： 采用溶胶一凝胶法制备了Sn(^氢敏纳米薄 ·2H。()溶入乙醇中并放人密封容器搅拌4h，所得的 膜。将0．1和0．05mol／1．的Snq溶胶溶液旋涂在Au 溶液在宦温下静置24h，得到一定浓度的溶胶溶液。 叉指电极衬底而制得。通过测量在不同温度下SnOz纳采用旋涂法将溶胶溶液旋涂在宽为10”m、间隙尺寸为 米氯敏薄膜的电阻信号采表征其氢敏特性。当温度为 250C时．试样的灵敏度较低．并且响应时问也比较长。得到均匀的薄膜。将薄膜放入loo℃的干燥箱内干燥 温度为300℃时试样的灵敏度较高，响应时间也明显缩 10min。以上步骤重复需要的遍数后，将制备所得薄膜 短。0．05mol／L溶胶溶液旋涂10层制备的样品在放人加热炉中烧结，在450℃下烧结时间约30min，形 300’C氢气浓度为2．0×10‘时，灵敏度达到了178．响成SnO：纳米薄膜。 应时闻为3．5s。同时实验还发现试样对氢气的响应时 2．2样品表征 同随着氢气浓度的增加先增大再减小。 采用JSM6400型电子显微镜对试样进行测试。 关键词：氢传感器；SnO：：溶胶·凝胶法；气体灵敏度 图1为测试试样结构的电子显檄镜图。氢敏纳米薄膜 中图分类号： TQl74 文献标识码：A 的叉指电极由200hm厚的金薄膜光刻得到．电极宽 文章编号：100lr9731(2011)增刊Ⅳ一755-04 指电极走线规整，整个电路中构成叉指电极的Au纳 1引言 米薄膜完整．为氧敏纳米薄膜的测量提供了可靠的硬 随着人类对能源需求量的增大和环保意识的增强 件支持。 使氢能利用的重要性日渐明显。但氧气的易燃易爆和 腐蚀性，在生产、使用、存储、运输中的易泄漏性，又极 大地制约了氢能的使用。安全问题是氢能利用的首要 问题，而高性能氢气传感器对氢能利用过程的有效监 控是解决氢能安全性的重要手段。以Sn0：纳米薄膜 为主体的氢气传感器，因其测量浓度极限低，响应时间 快，尺寸小．功耗低，稳定的基准信号，易于实现量产等 优点，受到了极大的关注““]。半导体型氢气传感器性 能提高，关键在于氢敏材料的制备工艺，溶胶一凝胶法 图1 又指电微电子显微镜图 是众多制备纳米薄膜f艺中的一种。相对于其它 1 SEM inter ofthe electrode Fig image digital SnOz纳米薄膜制备工艺．溶胶一凝胶法具有工艺简单， 图2为氢敏纳米薄膜的电子显微镜图。图2(a)薄 工艺过程温度低．化学反应稳定，易获得组分分布均匀 的高比表面积薄膜材料，可以大面积在不同形状、不同 而成。由图2(a)可知氢敏纳米薄膜的晶粒直径为 材辩的基底上制备薄膜等优点“‘“。本文采用溶胶一凝 40hm并且整个区域的纳米薄膜规整致密。同时在图 胶法制备了SnO。纳米薄膜，得出了在不同温度梯度 的左侧部分氢敏纳米薄膜存在一些细小的裂缝。图2 下SnO。纳米薄膜灵敏度和响应时间与不同氢气浓度 (b)为氢敏纳米薄膜的电子显微镜图。此薄膜采用 曲线。针对在不同温度下在3．0x101附近试样的响 应时间都出现了一个波峰的现象．结合已有的氢敏材 子显微镜显示氢敏纳米薄膜的晶粒直径为20nm．并且 料反应机理．分析了原因。 整个区域的纳米薄膜规整致密，没有明显的裂纹存在。 2实验