新型高灵敏度XRF分析仪的研制与应用 Research and application of a high sensitive XRF analyzer based on Si-PIN detector.pdfVIP

第26 卷 第11 期 核 技 术 Vol. 26, No.11 2003 年11 月 NUCLEAR TECHNIQUES November 2003 新型高灵敏度XRF 分析仪的研制与应用 赖万昌 葛良全 吴永鹏 林延畅 肖刚毅 (成都理工大学 成都 610059) 摘要 新型高灵敏度便携式X 射线荧光（XRF ）分析仪基于电致冷Si-PIN 半导体X 射线探测器和微机多道（2048 道）谱仪系统，整机重3.8 kg （探头重0.6 kg ），对铜、锌、砷等元素的分析检出限为10 µg ·g−1，适用于野外现 场的天然岩石、土壤和水系沉积物的多元素含量的定量测定，以及工业原料、半成品、产品快速分析。 关键词 便携式X 射线荧光仪，原位分析，X 射线，Si-PIN 探测器 中图分类号 TL822 ，P631.6 经过 20 多年的探索、研究与应用，同位素 X XRF 分析仪，它以新型电致冷Si-PIN 型半导体探测 射线荧光（XRF ）分析已发展成为一种快速高效的 器为核心，以 PC/104 型嵌入式微功耗计算机为基 现场及原位分析方法。国内至今已研发了两代共十 础，采用了多道脉冲幅度分析器技术和大规模 多种型号的便携式XRF 分析仪，它们在地质勘探、 CMOS 集成电路等现代电子技术成果，使其不但继 采矿选矿、金属冶炼与加工、环境监测等方面发挥 承了第一代和第二代仪器轻便灵活、稳定可靠的优 [1—4] 了重要的作用 。 点，而且在分析元素种类、多元素同时分析能力、 第一代和第二代便携式 XRF 分析仪使用闪烁 检出限、灵敏度、数据处理和存储能力等方面比前 计数器或正比计数管，以单片机或袖珍计数器(机) 二代仪器都有显著的提高。 作数据采集和处理工具，在分析元素种类、检出限、 1 硬件 灵敏度等方面存在严重不足，主要表现在：（1）一 般只能检测较重元素，而且检出限较高，不能进行 新型高灵敏度便携式 XRF 分析仪由探头和操 微量元素的分析；（2 ）探测器的能量分辨率较差， 作台两部分组成。探头由新式电致冷Si-PIN 型半导 不能分辨相近元素的特征荧光，因此，对多元素的 体探测器、前置放大器、电致冷器、控温器、同位 分析极不方便，误差较大，效率很低；（3 ）数据处 素源等组成，其中前四部分为探测器模块 理能力有限，软件功能少、水平低，其原位分析结 (XR-100CR)；操作台由主放大器、脉冲峰值保持器、 果往往只能达到定性或接近半定量的水平[1, 2] 。随着 多道分析器(MCA)、滑尺、多道缓存器(MCB)、高 应用领域的不断开拓，它们已难以胜任新的需要。 压电源、直流恒流电源、直流恒压电源、电源控制 为配合新一轮国土资源大调查，我们承担了国 器、PC/104 型嵌入式微功耗计算机及其外设等组 土资源部的科研任务，研制了新型高灵敏度便携式 成。电路结构框图如图1 所示。 图1 新型高灵敏度便携式XRF 分析仪电路框图 Fig.1 The electrical schematic of a high sensitive portable X-ray fluorescence analyzer —————————————— 国土资源部的项目 (20002010002116 、20012010083)及“IAEA” 的CRP