三氯氢硅制备工艺的改进.pdfVIP

第14届“佑利杯”论文交流会文集 三氯氢硅制备工艺的改进 华山+，高思燕 (重庆天原化工有限公司，重庆408017) [关键词]三氯氢硅；工艺；改进 [摘要]针对西门子法三氯氢硅工艺存在的问题进行了技术改造，并对改造前后的工艺进行了对比。 重庆天原化工有限公司(以下简称“重庆天 2改进前工艺存在的问题 原”)采用改良西门子法生产三氯氢硅，工艺相对落 2．1工艺流程 后，借企业搬迁的契机对原工艺进行了较大改进，节 工艺流程如图1所示。 约了生产成本，改善了生产环境。 第一步是对氢气(H：)进行脱水处理。首先用 1生产原理 一35℃冷冻盐水进行深冷，然后用硅胶颗粒对微量 主反应： 水分进行吸收(硅胶可利用热氮气进行再生，循环 H2+C12——吃HCl； 使用)，以达到干燥氢气的目的。经脱水后的氢气 t， 和液化氯气在氯化氢合成炉中生成氯化氢气体，氯 si+3HCl—一siHcl3+H2 J／tool。 化氢经过酸雾除沫器后进入沸腾炉与加热过的硅粒 A，础=一2．09×105 副反应： 进行反应，硅粒采用间歇式加入，主要根据沸腾炉底 Si+4HCl—一Sicl4+2H2t， 部与顶部的压力差判断炉内硅粒料层高度。合成后 X105 的气体经袋式除尘器分离硅粒与合成气，再经空气 A，碑=一2．40J／mol； Si+2HCI—，SiH2C12(微量)。 冷却器对合成气进行冷却，最后经一35℃冷冻盐水 进行深冷，冷凝下来的粗三氯氢硅液体物料进入精 (1)随着反应温度升高，SiCI。的生成量也随着 增大。从化学反应式可以看出：硅粉和氯化氢反应 馏塔，经精馏提纯至三氯氢硅质量分数达99．5％的 是很复杂的，除生成三氯氢硅外还生成四氯化硅和 成品料，未冷凝的尾气进入淋洗塔，尾气中的三氯氢 各种硅烷等副产物。 硅和四氯化硅气体被分解生成二氧化硅和稀盐酸， (2)三氯氢硅含量不仅与反应温度有关，而且 进入环保站进行处理。 与硅粉、氯化氢中水含量有很大关系，水含量越大， 2．2存在的问题 产品中三氯氢硅就越少，一般要求氯化氢中含水质 (1)由于工艺线路过于陈旧，氯化氢合成中的 量分数不超过0．05％。水含量高，不仅三氯氢硅收 原料氢气和氯气中都含有少量的氧，合成燃烧时生 率低，而且还会因三氯氢硅水解生成硅胶而堵塞系 成水分，导致氯化氢水含量较大，体积分数时常大于 统与管道。 4×10～，对三氯氢硅的合成造成极大危害；同时由 (3)硅粉粒度过大，则反应接触面小，沸腾情况 于系统中氯化氢含量大，遇水后形成盐酸，对系统造 不佳，导致三氯氢硅产率低；硅粉粒度过小，反应接 成严重腐蚀，缩短设备的运行寿命。 触面大，沸腾反应时，硅粉容易被气流带进管道系统 (2)合成炉内压力不够，粗料收率较低(约 堵塞管道并增加消耗。 70％)，硅粉等各项消耗高。 (3)粗料中未冷凝的尾气量大，环保压力大，要 · [作者简介]华山(1983一)，男，工程师，现任重庆天原化工有限公司硅氯化物分厂厂长助理，从事硅烷氯化物和氯乙 酸的生产工作。