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利用水溶性纳米线制备微纳流体系统.pdf
V01．9
第9卷第5期 纳米技术与精密工程 No．5
201 andPrecision
1年9月 NanotechnologyEngineering l
Sep．201
FabricationofMicro／Nanofluidic
System丽th
Water．DissolvableNanowires
XU Jiong—wei，SUN
Sheng—yong，WUXiu-dong，ZHUANGQian—wei，XUE Wei—qiang
forthe and of 100871，China)
(KeyLaboratoryPhysicsChemistryNanodevices，PekingUniversity，Beijing
the the ofa methodfor micro／nanoflu—
Abstract：Inresearch，with fabricating
help nanoprobesystem，a
idic withwater—dissolvable Onanowireswas this
system NaNH4M03010·H2 developed．Bymethod，
nanochannelswithdesired andcross-sectioncanbeobtained．Forthemicro／nanofluidic
length，diameter
madeofSU…8to treatmentof is
siloxane(PDMS)materials，the
system polydimethyl oxygenplasma
foundtobe for andbettersurface kindofmicro／
veryhelpfulhigherbondingstrength hydrophilicity．This
on and
nanofluidicdevicehasa fortheresearchion oth—
greatpotential transport，biomolecularseparation
errelatedstudies．
Keywords：micro／nanofluidic；nanowire；PDMS；SU一8
利用水溶
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