利用电化学技术制备白钨矿薄膜的生长动力学研究.pdfVIP

安红娜等：利用电化学技术制备白钨矿薄膜的生长动力学研究 利用电化学技术制备白钨矿薄膜的生长动力学研究。 安红娜，杨祖念，肖定全，余 萍，刘志强，谢瑞士 (1四)ll大学材料科学与工程学院材料科学系，／四]Jl成都610064) 摘要： 采用恒电流电化学技术直接在金属钼(Mo)相应的测试结果进行了分析研究，得出了有关白钨矿 薄膜的生长过程及生长动力学相关结果。 或钨(W)片上制备了白钨矿钼酸盐、钨酸盐AMOt(A =Ba、Sr、Ba。Srl一；、Ba。SryCal一一y；M—W、Mo)晶态 2单元钼酸盐、钨酸盐薄膜的制备 薄膜，制备时间分别为从薄膜开始生长到薄膜生长结 2．1基片的预处理 束的不同时间间隔。利用场发射扫描电镜(FESEM) 和电子能谱仪(EDX)等测试手段，分别对这些薄膜的 生长特性进行了测试，并对测试结果进行了对比分析。 属钨片和钼片的表面，然后分别用乙醇、强碱(NaOH 结果表明，利用电化学技术制备白钨矿薄膜时，金属基 溶液)和蒸馏水超声清洗，经冷风干燥处理后，得到新 片在不断的溶解；由于负离子配位多面体的沉积、构架 鲜、表面相对光洁且具有吸附活性的金属钼和钨片，备 和阳离子的不断填充，完成晶核的形成和晶粒的长大； 用。 随着时间的增加，光滑饱满的晶粒布满整个基片表面 2．2制备方法与参数 从而完成了薄膜的成膜过程；由于阳离子Ba2+、Sr2+、 ca2+填充速率依次降低，使得在沉积二元和三元薄膜初步处理过的钼片分别作为工作电极和辅助电极，采 时出现富钡现象。 关键词： 电化学技术；白钨矿薄膜成核过程；成膜过 槽中加入适量的电解质溶液，溶液中阳离子浓度为0．1 程 中图分类号：TB383；0646．542文献标识码：A 文章编号：1001—9731(2009)09-1477—04 Lab PST050，法 在室温下利用电化学工作站(Voltal 1 引 言 白钨矿结构的钨酸盐、钼酸盐薄膜是重要的光电 备不同的AM04薄膜样品，包括单元、二元及三元钨 功能材料[1]，利用电化学方法制备功能薄膜是近年来 酸盐和钼酸盐薄膜；样品的制备时间分别选为从薄膜 才发展起来的环境协调性工艺路线[2矗]。国际上包括 开始生长到薄膜生长结束之间的不同时间间隔。 本文作者单位在内的一些研究组相继报道了利用电化 3实验结果与分析 0。，不 学技术制备白钨矿结构晶态薄膜的研究结果[1~1 过，这些研究中专门涉及利用电化学技术制备功能薄 3．1 薄膜的成核和晶粒长大过程 膜的生长动力学研究不多。 对于不同体系的薄膜，最初成膜时问不同，晶核和 由于其制备技术独特性，使得在对利用电化学技 晶粒形貌也有所不同，但其成核和晶粒长大过程有很 术制备功能薄膜的生长动力学研究中，不仅要考虑到 多的相似之处。通过电子能谱仪对晶粒进行点分析， 晶体生长[1妇和晶态薄膜生长[12]，还要考虑电化学的一可得到晶粒上元素的种类及含量。图1分别给出了 些相关问题。所以，较之晶体的生长动力学和利用其 它方法制备晶态薄膜的生长动力学研究，利用电化学 技术制备功能薄膜的生长动力学有其特异性。因此， 的形貌图和点分析能谱图。 该项研究具有重要意义。 本文采用恒电流电化学技术直接在金属钼片或钨 上除了Au元素(测试时样品表