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利用直流磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO Zr新型透明导电薄膜.pdf
第38卷第3期 人 工 晶 体 学 报 v01．38N。．3
ANovel ZnO．ZrFilms
TransparentConducting
onZnO-—bufferedFlexibleSubstrates
Deposited
DC
by MagnetronSputtering
ZHANG
Hm-fu，LEICheng·xin，LIUHan扣，YUANChang·kun
(SchoolofScience，ShtmdongUniversityofTechnology，Zibo255049。China)
October
2008)
(凤蒯23几耖2008，∞驯28
films
with andlow
Abstract：TransparentconductingZr·dopedZnO(ZnO：Zr)thin
hi曲transparency
were onZnO—buffered DC
resistivitysuccessfullyprepared polyethyleneglycol
atroom effectsofthethicknessonthe and
magnetronsputteringtemperature．The structural，electrical
ofthefilmswerestudiedindetail．The resultsrevealthatallthe
opticalproperties experimental deposited
filmsale witha structure．Thelowest achievedis2．4×10‘3Q·cm
polycrystallinehexagonal resistivity
fora of am
thickness151 withaHall of18．9cm2·V一·8”andacarrierconcentrationof2．3×
mobility
10∞cmd．Allthefilms a transmittanceofabove92％inthe ofthevisible
presenthigh wavelengthrange
spectrum·
thin film
Keywords：ZnO：Zr substrate；DC
films；flexible magnetronsputtering；transparentconducting
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