化学溶液法制备涂层导体过渡层La2Zr2O7厚膜的研究.pdfVIP

第39卷第2期 人 工 晶 体 学 报 v01．39N。．2 化学溶液法制备涂层导体过渡层 LazZr207厚膜的研究 王 榕1，索红莉1，程艳玲1，刘敏1，赵跃1”，叶 帅1，高忙忙1，周美玲1 (1．北京T业大学材料学院新型功能材料教育部重点实验室，北京100022； 2．北京工业大学数理学院，北京100022) solution 摘要：为制备高质量的双轴织构kZr=O，(LZO)涂层导体过渡层，本文采用化学溶液法(Chemical at％W基底上用快速一步法退火工艺制备了LZO种子层及双层LZO厚膜。SEM观察种子层呈岛状均匀排列，符 合种子层形貌特点。XRD结果显示0．06mol／L浓度种子层上制备的LZO厚膜具有很强的双轴立方织构，其中 (222)面Phi扫描和(400)面摇摆曲线半高宽值分别为6．37。和5．82。。SEM观察发现120nm厚的LZO薄膜表面 平整，无裂纹，为后续沉积YBCO提供了很好的模板。 关键词：涂层导体；CSD方法；LZO过渡层；种子层 中图分类号：TM26 文献标识码：A Fabricationof Thick Chemical La2Zr207 Layersby Solution forCoatedConductors Deposition WANG Ron91，SUOHong～li，CHENGYah—lin91，ⅡUMinl，ZHAOYuel”， YE Shuail，GAO Mang—man91，ZHOUMei—lin91 ofAdvancedFunctional of (1．KeyLaboratory Materials，MinistryEducation， ofMaterialsScienceand of CoHege Engineering，BeijingUniversityTechnology，Beijing100022，China； ofMathematicaland of Physical University 2．College Sciences，BeijingTechnology，Beijing100022，China) 17 15 (Received July2009，acceptedAugust2009) ordertofabricatebiaxialtextured of forcoated Abstract：In La2Zr207(LzO)bufferlayershigaquMit)r resultsofLZObuffersoncubetextured wereobtained conductors．the Ni-5at％W(Ni5W)substrates