化学溶液法制备的Ba0.9Sr0.1TiO3薄膜的结构及光学特性研究.pdfVIP

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第 卷第 期 红 外 与 毫 米 波 学报 , 21 1 VoI . 21 No . 1 年 月 , 2002 2 J . Infrared MiIIim . Waves February 2002 化学溶液法制备的Ba0 . 9Sr0 . 1TiO3 薄膜的 结构及光学特性研究! 1) 1) 1) 1) 1) 1) 1) 王根水 赖珍荃 于 剑 孟祥建 孙憬兰 郭少令 褚君浩 2 ) 2 ) 2 ) 金承钰 李 刚 路庆华 1) (中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海, ; 200083 2 )上海交通大学分析测试中心,上海, ) 200030 摘要 采用高度稀释的前驱体溶液在 ( )薄膜上沉积了 ( )薄膜 射线衍射分析表 LaNiO3 LNO Ba0 .9 Sr0 . 1 TiO3 BST . X- 明 薄膜呈高度的( )择优取向 原子力显微镜测量发现制备的 薄膜具有大的晶粒尺寸 用 BST 10 0 . BST 80 ~ 200nm . 椭偏光谱仪测量了光子能量为0 .7 ~ 3 .4eV 范围内BST 薄膜的椭偏光谱,用 Cauchy 模型描述BST 薄膜的光学性 质,获得了BST 薄膜的光学常数谱和禁带宽度 E = 3 . 36 eV . g 关键词 化学溶液法, 薄膜,椭偏光谱,光学常数谱 BST . STRUCTURAL AND OPTICAL PROPERTIES OF Ba0 . 9Sr0 . 1TiO3 THIN FILMS PREPARED

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