双尺度织构的激光光刻工艺.pdfVIP

第25卷第11期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．25，No．11 BEAMS Nov．，2013 2013年11月 HIGHPOWERLASERANDPARTICLE 文章编号： 1001—4322(2013)11-2900—05 双尺度织构的激光光刻工艺。 贺海东， 郝敬宾， 赵恩兰， 杨海峰， 唐 玮， 朱 华， 钱济国 (中国矿业大学机电工程学院，江苏徐州221116) 摘 要： 搭建了双光束激光干涉光刻系统和激光快速扫描系统。利用干涉光刻系统，实现了不同周期、 不同深度、大面积的表面规则光栅织构的构筑。利用激光快速扫描器的二维扫描功能，通过控制激光功率和扫 描速度，对曝光量和填充线条间距进行了优化。提出了两种双尺度复合织构的制备方法：一种是在激光快速扫 描系统中对抗蚀剂表面分别进行z，Y方向的扫描光刻，然后在干涉光刻系统中进行双光束干涉光刻；另一种 是在激光干涉光刻系统中进行两次曝光，每次曝光的人射角不同。实验结果表明：这两种方法在制备双尺度复 合织构方面具有快速、廉价、操作简易等优点。 关键词： 双光束干涉； 双尺度； 表面织构；激光光刻 中图分类号： TN305．7 文献标志码： A doi：10．3788／HPLPB201325Ii．2900 近年来，微／纳米织构对材料表面润湿性能和摩擦性能的影响已成为材料科学领域的一个研究热点。制备 微纳米织构的方法有很多种，例如化学腐蚀、激光加工、电子束刻蚀、光刻等[1q]。双尺度复合织构(在两个尺度 上都存在规则的周期结构)在自然界中普遍存在，其表面往往会表现出一些特殊的现象，如荷叶表面的自清洁 效应、水黾能在水面上自由站立等[5。6]。有着双尺复合度织构的表面能够有效改善材料的润湿性能和摩擦性 能。江雷等人[73采用激光刻蚀的方法，通过调整催化剂在材料表面的分布，制备出了双尺度织构，实验结果表 明：双尺度复合织构能够使表面同时具有较大的接触角和较小的滚动角，这是单一的微米或纳米结构难以达到 的。然而，现有的加工方法很难制备出结构小、大面积的双尺度复合织构。从20世纪60年代至今，光刻技术 有了很大的发展，广泛应用于集成电路、掩模、MEMS、材料科学等方面。陈欣等人聃3利用激光干涉光刻技术和 nm的掩膜。施瑶等人[93利用光刻和电铸技术在不锈钢基板和铝基 等离子刻蚀技术制备出周期200、线宽100 板上加工出不同参数的条纹沟槽，有效改善了其表面的润湿性能。姜亮等人[1叨利用光刻技术在PDMS表面制 作凹坑阵列型表面织构，并对其进行了摩擦磨损试验研究。采用光刻技术制备的微／纳米织构排列规则、截面 轮廓平滑，而且易加工出尺寸较小的织构。激光干涉光刻是一种新兴的光刻技术，与其他的光刻方法相比，具 有系统简单廉价、可实现大面积曝光、结构尺寸容易控制等优点[1卜13]。本文搭建了双光束激光干涉光刻系统和 激光快速扫描系统，采用激光干涉光刻系统在抗蚀剂表面构造了不同周期、不同深度的微米级光栅织构，利用 激光快速扫描系统对大尺度网格织构的构筑进行了优化，同时提出了两种双尺度复合结构的制备方法。 1 实 验 1．1仪器 ns，平均功率 nm，脉宽20 光源采用美国PHOTONICS公司生产的DSH一355—10型紫外激光器：波长355 10w。采用CSPM一5500原子力显微镜，在接触模式下对加工后样品表面形貌进行表征。 图1为激光干涉光刻平台和激光快速扫描平台系统图。激光器1发出的紫外激光经过反射镜2反射后， 其方向按顺针旋转了90。，然后依次通过电子开关3、扩束镜4(放大倍数为5倍)和分束镜5。分束后的激光： 一束进入激光快速扫描系统①，通过激光快速扫描器，聚焦在固定于三维移动平台13的样品上；另一束进入激 光干涉光刻系统②，经过光阑6、反射镜7和分束镜8被分