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微电子技术发展历程-从基础研究到产业化 1．引言 诺贝尔奖委员会在 2007 年的诺贝尔奖授奖公告[1]指出： “巨磁电阻效应的发 现打开了一扇通向技术新世界的大门，在这里，将同时利用电子的电荷自旋特 性。新兴的纳米技术是发现巨磁电阻的前提条件，而自旋电子学反过来成为促 进纳米技术迅速发展的动力。这为研究领域树立了一个异常清晰的例子：基础 研究和新技术是如果交互作用和互相支持的。”实际上，在现代科学研究和技 术发展历程中，基础研究和新技术交互作用和互相支持的历史事例是非常多 的。本文简要介绍集成电路、硬盘技术及扫描电子显微镜的发展等三个例子， 探讨基础研究和新技术发展的相互关系，希望能给读者一些启迪和思考。 2．集成电路技术的发展简介 1880 年，爱迪生意外地发现在灯泡里加入一支电极，而将它连接到钨丝的电源 去，被加热后的钨丝会向电极放电产生电流，这个物理现象被称为 “爱迪生效 应”。 1904 年，曾担任伦敦的爱迪生电灯公司顾问的英国科学家 J.A.Fleming 发明了 用于无线电信中检波器的真空二极管，这个重大发明的基础就是 “爱迪生效 应”。Fleming 将发明了的二极真空管取名 Bulb，或称Valve。 1946 年 2 月 14 日，公认的世界上第一台电子计算机ENIAC 在美国宾夕法尼亚 大学诞生。这部机器使用了 18800 个真空管，长 50 英尺，宽 30 英尺， 占地 1500 平方英尺，重达 30 吨。它的计算速度为每秒 5000 次的加法运算。机器被 安装在一排 2.75 米高的金属柜里，占地面积为 170 平方米左右，总重量达 到 30 吨。它的耗电量超过 174 千瓦，电子管平均每隔 7 分钟就要被烧坏一只。 ENIAC 标志着电子计算机的创世，人类社会从此大步迈进了计算机时代的门 槛。 1947 年 12 月，美国 Bell 实验室的 Shockley、Bardeen 和 Brattain 等人发明 了晶体三极管[2]。晶体管相较于真空管具有显著的优越性能，因此晶体管促进 并带来了 “固态革命”，进而推动了全球范围内的半导体电子工业。作为主要 部件，它及时、普遍地首先在通讯工具方面得到应用，并产生了巨大的经济效 益。由于晶体管彻底改变了电子线路的结构，集成电路以及大规模集成电路应 运而生。 1958 年，Jack S. Kilby 发明了集成电路方法[3]。在不超过4 平方毫米的面 积上，大约集成了 20 余个元件。1959 年 2 月 6 日， Kilby 向美国专利局申报 专利，这种由半导体元件构成的微型固体组合件，被命名为 “集成电路” （IC）。Kilby 由此获得2000 年诺贝尔物理学奖。Farichild 公司的 Robort Noyce 和他的研发团队则解决了大规模集成电路生产的关键技术问 题。 1965 年 Intel 公司的 Moore 博士发表论文 Cramming more components onto integrated circuits 预言集成电路上 能被集成的晶体管数目，将会以每 18 个月翻一番的速度稳定增长，并在今后数 十年内保持着这种势头[4]。Moore 的这个预言，因集成电路芯片后来的发展得 以证实，并在较长时期保持着有效性，被人誉为 “Moore定律”。 Moore 定律 一直指导着微电子产业的发展。 2002 年，芯片的特征线宽已达到 0.125 mm，，预计到 2010 年将达 0.05 mm。根据Moore 定律的要求，每 16 个月芯片的集成度要增加一倍，因此 需要不断的发展新的加工工艺，达到更高的加工精度。英特尔前总裁 Craig Barrett 认为：Moore 定律还要有效至少 20 年。 3．硬盘技术和产业的发展 硬盘是电子计算机最重要的存储设备。1956 年 9 月，根据磁致电阻原理，IBM 科学家 Reynold Johnson 发明了世界上第一个计算机磁盘储存系统 IBM 350 RAMAC （Random Access Method of Accounting and Control），它的磁头可 以直接移动到盘片上的任何一块存储区域，从而成功地实现了随机存储，这套 系统的总容量只有 5MB，共使用了 50 个直径为 24 英寸的磁盘。 在随后几十年中，随着信息量的