半导体集成电路用表面钝化膜的研究.pdfVIP

第 23 卷第 2 期 陶瓷学报 Vol . 23 ,No . 2 2002 年 6 月 　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　 June . 2002 JOURNAL OF CERAMICS ( ) 　文章编号 :1000 - 2278 2002 02 - 0112 - 04 半导体集成电路用表面钝化膜的研究 刘学建 　张俊计 　孙兴伟 　蒲锡鹏 　黄莉萍 ( 中国科学院上海硅酸盐研究所) 摘 　要 对于高性能高可靠性集成电路来说 ,表面钝化已成为不可缺少的工艺措施之