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真空渗硼预处理在CVD金刚石硬质合金涂层工具中的应用.pdf
!!!!!!! 真空渗硼预处理在 金刚石 硬质合金涂层工具中的应用
CVD -
!
! 表面处理
! !!!!!! 宋建华，张恒大，苗晋琦，唐伟忠，吕反修
（北京科技大学 材料科学与工程学院，北京 100083 ）
摘要：采用固体粉末真空渗硼工艺，研究了硬质合金工具表面真空渗硼预处理对金刚石涂层附着力的影响。
研究结果表明，硬质合金工具通过固体粉末真空渗硼处理，表面生成具有较高稳定性的以 、 为主的
CoWB CoB
渗层；经过长时间的金刚石涂层后，硬质合金工具表面出现 和 相，没有单质 相出现，克服
Co B W Co B Co
3 2 21 6
了金刚石沉积中硬质合金表面钴的不利影响，使标志金刚石涂层附着力的压痕测试的临界载荷达到了
1500N ，并且有着较好的重现性。
关键词：金刚石涂层；硬质合金；真空渗硼；附着力
中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ）
TG174 .442 A 0254-6051 2003 02-0046-03
Application of Vacuum Boronizing Process in CVD Diamond
Coated Cemented Carbide Cutting Tools
； ； ； ；
SONG Jian-hua ZHANG Heng-da MIAO Jin-Ci TANG Wei-zhong LU Fan-xiu
（ ， ， ， ）
School of Materials Science and En ineerin Universit of Science and Technolo Bei in Bei in 100083 China
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：
Abstract A novel boronizin rocess in vacuum has been develo ed in order to im rove the re roducibilit of tech-
g p p p p y
ni ues for re arin CVd diamond-coated cemented carbide inserts. diffusin boron in vacuum into the insert of
C p p g g
WC-6 % Co roduced an interla er of cobalt boride，
p y such as W Co B and Co B. Investigation showed tha
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