热处理工艺对111取向Pt薄膜物相和结构的影响.pdfVIP

材料热处理学报 V01．28 第28卷增刊 Supplement 2007年8月 11认NSACrIoNSOFM^：nmIAI，SANDHEATn也ATMENT August 2007 热处理工艺对(111)取向Pt薄膜物相与结构的影响 江民红，顾正飞，陈国华，成钢，申罡 (桂林电子科技大学信息材料科学与工程系，广西桂林541004) 着重研究了退火工艺对Pt薄膜与缓冲层Pr薄膜间的互扩散及薄膜物相、结构的影响规律。结果表明：250℃保温5至25小时， 时为控制Pt薄膜的结构与性能、进行开发应用提供了实验依据。 关键词；Pt薄膜；(111)取向；射频磁控溅射；热处理工艺；PrPt相 中图分类号：TB43；TB3l Effectofheattreatment on andmicrostructures processingphases