微摩擦测试仪的研制.pdfVIP

of echnoj。gy， 强。笼麓1删aI。… 雹麓铲2004年3月 Jou帆l如。。Ⅲ‰。k善匙器慧。。＆T出删剥Nancha“gum代rsic“En毋neen“g＆l ——～———～——————————————————————一—————————————————————————————————————一—————————————一 文章编号：1006—0456(2004)0l一0005—04 微摩擦测试仪的研制 刘文广L2，刘莹1，李小兵1 (1南昌大学机电工程学院，江西南昌330029；2景德镇陶瓷学院机电工程学院，江西景德填333001) 摘要：微机械构件表面的微摩擦不同于宏观摩擦，也不同于原子力／摩擦力显微镜探针与基片之间的微摩擦． 因此。宏观或微观摩擦实验仪器对于微摩擦的研究有很大的局限本文从实际出发，设计并研制了考虑微机械工况 的销盘式微摩擦测试仪及其数据处理系统，采用微应变片获取摩擦力及载荷导致的变形信号，通过A／D卡采集数 据．在数据处理系统中进行数据处理．从而获得微摩擦力和微载荷的数值，为微摩擦特性测试和分析提供一种手 段． 关键词：微机械；微摩擦；数据采集；测试仪 中圉法分娄号：T}173 文献标识码：A 的理论计算方法．在微观摩擦学和宏观摩擦学相互 1引言 沟通方面也有待进一步加强…． 20世纪后半叶，随着大规模集成电路技术和微 在摩擦学研究中，常用的研究方法有实验方法 制造技术的发展，出现了微型机电系统(microelec．(采用宏观摩擦损试验机和纳米摩擦仪器)和采用计 tromechanicaI system，MEMs)，并且迅速成为当今算机模拟的分子动力学模拟方法．宏观摩擦磨损实 最有生命力和最其发展前景的机械科学研究的前沿 验设备主要有环块销盘试验机、四球机圆盘试验机、 领域．微机械不是传统机械的直接微型化，而是基于 SRv磨损测量仪等，试验机对摩擦试件的观察都是 现代科学技术，并作为整个纳米技术的重要组成部 静态选位观察，其方法简单易行，但不能获得摩擦过 分的崭新的研究课题． 程的动态信息，无法对摩擦过程进行动态观测和记 相对于传统机械而言，微机电系统的摩擦问蹶 录．它们加载的大小一般都在牛级以上；微观摩擦实 显得十分突出．一方面，由于MEMs中存在的尺寸验仪器主要有扫描探针显微镜(SPM)、扫描隧道显 效应和表面效应．在构件微小型化后，其本身的物理 性质及其对环境变化的响应也将发生很大改变，表 (SFA)等，这些仪器的测量范围一般都在几平方微 面间摩擦阻力显著增大。使得许多的MEMs“能看米的极小面积内，甚至是摩擦副几个分子间的接触， 不能动，能动不能用”．另一方面，MEMs往往利用测量的力在纳牛量级．由于要求的测量精度和准确 摩擦作为牵引或驱动力，这时则要求摩擦力具有稳 性都非常高，仪器的价格也就非常昂贵；分子动力学 定的数值而且可以适时控制．固而微摩擦磨损特性 模拟一般模拟计算的粒子数都非常小，最多在数千 和润滑问题已经成为开发MEMS的关键技术这也个左右，而真实物理系统所包含的微观粒子数量往 是纳米摩擦学(nanotrib。logy)或微观摩擦学 往高达1023数量级，显然，两者有着很大的差别，这 (microtribology)成为摩擦学研究领域最为活跃的研也就使得分子动力学模拟方法得到的绪果有时会非 究分支的主要原因． 常不准确．为了减少误差，应当合理选择统计物理模 由于纳米摩擦学研究涉及到摩擦界的微观动态 型和理论计算方法，困难非常大． 过程，在理论