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MEMS器件与技术 MEMS 微流动的尺寸效应 张 颖，王 蔚，田 丽，刘晓为，李 玲 (哈尔滨工业大学MEMS中心，哈尔滨150001) 摘要：随着尺寸的微小化，微流体系统中呈现出一些与宏观流动不同的现象。综述了流动的特征 尺寸减小到斗m～mm量级引起的尺寸效应，并分析了表面积与体积比、界面粗糙度、粘滞力、梯 度参数、边界层流等因素对微尺度流动的影响。随着流动特征尺寸的减小，与界面有关的传热、 传质过程、表面粗糙度以及表面力的作用大大加强，流体内部黏性力和流体与外部接触界面上的 作用力起着主要作用。微尺度下，流体受黏性耗散、热扩散、可压缩性、流动滑移等因素的影 响，经典的Navier．Stokes将不再适用。 关键词：尺寸效应；微尺度；微流动；微机电系统 中图分类号：035 文献标识码：A 文章编号：1671—4776(2008)01一0033—05 EffectofMicroFluidic Scaling Systems ring，WangWei，TianLi，4“uXiaowei，LiLing Zhang Institute (MicroelectromechanicalSystemCenter,HarbinofTechnology,Harbin150001，China) miniaturizationofthesize．inmicro-fluid some Abstract：With systemsappear uniquephenomena thatin micro the size differentfrom macro—fluid effectsof fluidcaused feature quite systems．Scaling by ofthefluid totheorderof wereoverviewed．Effectsofthese decreasing magnitudeI山m～mm factors，in— theratioof areatovolume，interface cluding superficial roughness，viscousforce，gradientparameter， themicro—fluidwere thescaleoffluid effect boundarylayerstreaming，on analyzed．As decreases，the ofheatandmass relatedtosH出oe，interface surfaceforcewillell— transportprocess roughness，and internalviscousforceandexternalinterfaceforce the factors．Theclassi— hance，with becomingmajor calNavier-Stokesis tomicro—fluid