微热模塑法制备聚苯乙烯球面微透镜阵列.pdfVIP

V01．28 高等学校化学学报 No．5 2007年5月 CHEMICALJOURNALOFCHINESEUNIVERSITIES 978—981 微热模塑法制备聚苯乙烯球面微透镜阵列 石锦霞，何平笙 (中国科学技术大学高分子科学与工程系，合肥230026) 摘要用软刻蚀中的微热模塑技术制备聚苯乙烯(PS)微立方体阵列，再利用材料在液态或熔融状态时其表 面自由能会不断地减小直至最低从而达到最稳定的状态这一特性，通过加热熔融方法成功地将Ps微立方体 结构变成了Ps微半球体结构，光学成像测试验证了Ps微半球体阵列具有良好的光学成像功能，可以作为 微透镜阵列使用．用微热模塑技术制备高聚物的微透镜阵列，其过程简单，成本低，适用于很多材料，所制 备的微透镜阵列结构精确度高，并因所用到的模具为弹性印章，有望在非平面上制备微透镜阵列，为微透镜 阵列的制备提供了一种新的途径． 关键词聚苯乙烯；微透镜阵列；微热模塑；软刻蚀 中图分类号0631 文献标识码A 文章编号0251-0790(2007)05-0978-04 微透镜…是指尺寸在微米到毫米范围内的光学透镜，可以把常规尺寸的图案或结构缩小到微米或 纳米量级，从而使获得微／纳米图案或结构变得简单易行；微透镜阵列[2’是由通光孑L径及浮雕深度为 微米级的透镜组成的阵列，每个子透镜都能聚焦和成像，因此，让一个图案或结构经过微透镜成像可 以得到周期性大面积微／纳图案或结构．类似于蜻蜓等昆虫的复眼，微透镜阵列具有单元尺寸小、集成 度高、设计灵活的特征，能够完成传统光学元件无法完成的功能，在波前传感、光聚能、光整形及仿生 领域等现代高新科技中具有广泛的应用怛≯-． 具有良好光学性能，且可用多种技术进行微纳米图案化的聚合物是制备微透镜及其阵列的首选材 料．制造聚合物微透镜及其阵列的方法有热熔法悼J、聚焦离子束刻蚀法【3】、Ink-jet法H】、反应性等离 子刻蚀法HJ、微球组装法∞J、渐变掩模法‘7|、真空减压法¨J、图案转移法口1和自组织法【1卅等．软刻蚀 技术是最近十几年来发展起来的一种新的微制造技术H¨，可实现图案的灵活转移和重复利用，技术简 捷有效，无需昂贵的设备和特殊的试验环境，成本低．作为软刻蚀技术之一的微热模塑技术¨21可以用 来制备高度规整二维点阵微结构，本文采用微热模塑技术和加热熔融手段制备聚苯乙烯(PS)的微透 镜阵列． 1 实验部分 1．1试剂与仪器 聚苯乙烯(Ps)，帆=12．5×104～25．0×104(PolyscienceInc．)；有机硅橡胶聚二甲基硅氧烷 (Polydimethylsiloxane，PDMS)Sylgard184购自美国DowComing 试剂，购于上海振兴化工一厂；二次去离子水为本实验室自制．硅模板由中国电子第13研究所采用光 刻蚀技术制备，模具的图案是边长分别为10．0和20．0斗m的凸起微立方体阵列结构，微立方体之间 的间距与其边长等长，微立方体凸起的高度均为4．o斗m．玻璃基片采用普通显微镜盖玻片，使用前在 NaOH的饱和乙醇溶液中浸泡4h以上，以除去表面油脂和污物；然后用体积分数为95％的乙醇溶液 超声清洗3次，每次5rain；最后用二次去离子水冲洗至中性，清洗干净后烘干备用；KW-4A型台式匀 收稿日期：2006—10-24． 基金项目：国家自然科学基金(批准号和高等学校博王=学科点专项科研基金(批准号：20040358018)资助． 联系人简介：何平笙(1940年出生)，男，教授，博士生导师，主要从事LB膜、软刻蚀、自组装、热同性树脂复合材料的固化等研 究．E—mail：hpsm@ustc．edu．cn 万方数据万方数据 石锦霞等：微热模塑法制备聚苯乙烯球面微透镜阵列 观察Ps微阵列结构和微透镜成像性能． 1．2弹性印章、PS点阵微结构和球面微透镜阵列的制备 将PDMS的预聚物及与其匹配的固化剂按质量比9：1混合均匀，于真空下放置至混合物中的气泡 完全除去为止，然后均匀地浇注在硅模板的图案面上(