微电子机械系统中的若干固体力学问题.pdfVIP

第25卷第2期 力 学 与 实 践 2003年4月 微电子机械系统中的若干固体力学问题” ——一———————————————————————————————————————————————————一一 张向军t孟永钢温诗铸 (清华大学摩攘学田寡重点实验室，北京100084) 张向军，女，1968年8月生，1990年西安交通大学工程力学系本科毕业，1993 年西安交通大学振动、冲击与噪声专业获硕士学位，2000年12月合肥工业大学博 E-毕业． 2002年始在清华大学摩擦学国家重点实验室从事博士后研究工作．先后 发表论文10余篇，主要从事机械系统动力学、内燃机摩擦学设计、微机械力学问题 等方面的研究． 摘要 简述了微电子机械系统若干崮体力学问题研究的现状，包括：徽构件材料的基本力学性能；微构 件的力学分析与计算；微系统的失效分析研究；微系统的驱动等，并阐述了微系统力学问题中涉及的表面敛应 和几度效应，提m了微系统多类型力作用、多种蹦素交叉，多学科耦舍、非线性突出的特点和研究方向 关键词微电子机械系统，固体力学’尺度效戍，表面效应0M A 微电子机械系统(MEMS，Microelectromechan- 1微构件材料基本力学性能的研究 ical System)被认为是特征尺度在亚微米到微米 一般来说，材料的力学性能取决于材料的微观组 (o．1pm一100pm)范围，具有感知、控制和执行能 织结构．当表征材料微观组织结构的特征尺度发生变 力，并将微机械和集成电路结合以完成特定功能的 化时，有可能导致材料力学性能的显著变化． sM． 系统．目前，相对于集成电路的设计与研究水平， Spearing[1】把这种由于特征尺度的减小而基本性质 MEMS中的“机械”部分较滞后，因而受到更多关 发生变化的现象称为机制性尺度效应(mechanism— 注，尤其是微构件的机械与力学问题成为MEMS研 dependentscaling)．纳米铜在率温下表现出的超塑 究的焦点之一． 性【2J可以认为是机制性尺度效应作用的结果． MEMS中，微机械部分主要作为转换器实现各 目前在MEMS中，构件材料主要是通过薄膜工 种能量的转换．在感知端，将各种力、光、电、磁、 艺制备的，由于工艺过程、表面粗糙度、残余应力、表 声、热(甚至化学、生物)等模拟量转换成微机械构 面粘附膜、几何形状、承载形式等因素的影响，即使 件的变形量或运动参数，再转换成电信号，要求转换 对同种薄膜材料而言，其力学性质往往也表现出显 量和模拟量间具有理想的线性关系；在执行端，微机 著差异．这些因素在高精度、高质量要求的MEMS 械构件将电信号转变为执行动作，要求响应准确、 设计中必须考虑．例如，采用表面加工工艺制备的薄 及时，如微机械光路开关、微阀中的换向开关等． 膜材料的弹性模量与其厚度大小有关|3】；也有研究 所以，MEMS中“机械”的概