微透镜阵列的计量标准化.pdfVIP

[2]全灿，武利庆，戴新华，徐蓓，徐锐锋，邵明武．血清中葡萄糖含 D．．DeLeenheer．九P．，ClimChem．1995，41：1781—1783 量CCQM—K11．1国际比对．化学分析计量，2006，15(4) [3]全灿，徐蓓，戴新华，徐锐锋，邵明武，武利庆．液相色谱一同位 ClimChem．1983．29：862～867 L B．Van，StocklD．，Leenheer九 素稀释质谱法准确测定血清中肌酐含量一国际比对CCQM— f7]ThienpontM．，Nieuwenhove P．De．J．Mass K12．1．质谱学报，2006，27(3) Spcctrom．，1996，31：1119一1125 [4]戴新华，李红梅，齐韬．’临床检验量值溯源及标准物质的研究现 [8]戴新华，杨梦瑞，全灿，徐锐锋，李红梅。方向．液相色谱一同位 状．化学分析计量，2007。16(5) 素稀释质谱法准确测定血清中的尿酸．计量技术，2008(10) [5]DeBrabandere，V．L，Vemnique，L，Thienpont，L地，Stockl， 微透镜阵列的计量标准化 胡 凯1 蒋向前1’2 刘晓军1 (1．华中科技大学机械学院仪器系，武汉430074； 2．哈德斯菲尔德大学，英国哈德斯菲尔德HDl3DH) 摘要分析了连续表面微透镜阵列的几何参量和光学性能的检测方法，介绍了最新的IS014480系列标准。 针对典型的微镜阵列元件，给出其详细结构尺寸，从而建立了一套通过测试元件的几何参量、加工误差来综合评估 微光学元件性能的方法。 关键词微光学元件；检测；几何参数 DOI：10．3969／j．issn．1000—0771．2009．09．004 0引言 1 ISO系列标准 微透镜阵列是阵列光学器件中一类重要的光 大多数微镜的检测和评定方法包括几何参量 学元件，它是一系列孔径在几个微米至几百微米的 分析和光学属性评定。光学属性参数表征了微透 微小型透镜按一定排列组成的阵列。根据其光学 镜阵列的质量，而几何参数在许多情况下，相比较 原理的不同，基本上可以将微透镜分成两种：基于 传统透镜和微透镜在尺寸和结构上有一个很大的 光的折射理论的折射微透镜阵列和基于光的衍射 不同。ISO组织集中于建立一个符合制造商和使用 理论的衍射微透镜阵列…。当前随着现代技术的 者双方面易于理解和共同使用的微透镜标准。ISO 172／SC 发展，人们要求光学元件小型化、集成化，微型透镜 关于微透镜标准化研究开始于1991年TC 阵列作为新一代的光学元件在光学领域里得到了 的日本神户会议。共分成了4个部分，并于2001年 广泛的运用，然而对于检测微小尺寸的微镜，不可 6月在宝尔德会议中全部完成(详见表1)口J。 能使用与传统透镜同样的方法。例如由于微镜尺 表l IS014880 寸引起的光学性能问题，微透镜阵列的使用者和供 DINENIS0 and Optics photonics-- 应商不一定能使用相同的测量方法和评定标准，所 显微透镜系列