B-Si-C-N系耐磨硬质膜的研究及应用进展.pdfVIP

第30卷 第2期 成都大学学报(自然科学版) V_o1．3O No．2 2011年 6fJ JournalofChengduUniversity(NaturalScienceEdition) Jun． 2011 文章编号：1004—5422(2011)o2—0178—04 B—Si—C—N系耐磨硬质膜的研究及应用进展 宋慧瑾 ，鄢 强 ，朱晓东 (1．成都大学 工业制造学院，四川成都 610106；2．核工业部 西南研究院，四川成都 610041) 摘 要：利用超硬薄膜进行材料防护是提高材料性能的一种经济、实用的途径，也是提高模具寿命的重要手 段 ．根据 Si-c．N系耐磨硬质膜材料的不同，综述了高温耐磨涂层的研究进展 ，说明了其制备方法 ，展望 了防护 涂层的发展趋势． 关键词：超硬薄膜；硬质涂层；金刚石薄膜 中图分类号：TB43 文献标识码：A 天然金刚石在 自然界中现已非常稀少且价格昂 0 引 言 贵，在工业上，科研人员非常注重人工合成金刚石技 利用超硬薄膜 (HV40CPla)对材料进行防护 术 ．迄今，人造金刚石合成技术已出现了三次飞跃： 是提高材料性能的一种经济、实用的途径．通常，这 从静态高温高压触媒法合成金刚石单晶到低温低压 类薄膜材料具有极高的硬度，优异的抗摩擦磨损性 化学气相沉积法合成微 ／纳米金刚石膜，再到利用负 能，较低的摩擦系数，较高的热导率和热膨胀系数， 氧平衡爆轰法合成纳米晶金刚石l2】．目前，研究人员 较高的透光率，优异的化学稳定性与基体 良好的相 重点进行超纳米晶(5砌)金刚石薄膜和金刚石纳 容性．目前，薄膜材料在宝石工业、集成电路衬底、辐 米复合材料的研究，并已成功地研制出力学性能极 射窗、半导体工业、机械轴承、医疗器械等领域得到 高的此类材料 ．虽然在低温下 (400℃)沉积金 广泛应用．本文详细介绍了B—Si—C—N系高温耐磨硬 刚石膜会降低沉积速率，引人更多的非金刚石型碳 质膜的用途、研究现状及发展前景． 相，进而降低该膜的优异性能4【】，但其能采用的衬底 材料范围会增多． 1 研究及应用进展 1．2 类金刚石薄膜(或涂层) 1．1 金刚石薄膜 (或涂层】 类金刚石 (DEI)膜 由Aisenberg等于 1971年通 金刚石有着优异的综合性能，能够制作成在高 过碳弧离子束技术首次获得l5】．DIE膜是超硬膜 ，具 温(50o 700℃)、高频、高功率或强辐射条件下稳 有较低的摩擦系数，是非常理想的耐磨涂层，可广泛 定工作的大规模集成电路；具有高的热导率、化学稳 用于机械设备与汽车发动机耐磨部件l6】．目前已有 定性、辐射抗力、硬度、生物相容性，这些特征使得金 DLC微型钻头产品问世，实现了硬质合金微型钻镀 刚石涂层在极限的热、压力、辐射和化学环境介质 制非晶碳膜的小批量生产．此外，DEI 膜还可以作为 中，成为理想的传感器材料 ．此外，如果对金刚石涂 磁介质保护膜，在磁盘、磁头或磁带表面沉积一层很 层内部带隙、缺陷和杂质水平进行控制，可获得红 薄的DLC膜，不仅能极大地降低摩擦磨损和减轻机 色、蓝色和绿色的激发器，使其在 电子发光器件、电 械划伤，还可提高磁介质的使用寿命． 场发射器或冷阴极、光电导和电子束控制开关、表面