CVD金刚石涂层附着性能研究.pdfVIP

第 卷第 期 郑 州 大 学 学 报 理 学 版 %2 * - 4D_)%2HD) 年 月 ##% % YIZQH[\IV]GPH9]GIZ ZH^4PQO^=8 6T‘)##% ./0金刚石涂层附着性能研究 杨仕娥 边 超 马丙现 李会军 王小平 姚 宁 张兵临 ’ ’ ’ ’ ’ ’ 郑州大学物理工程学院 郑州 * ’ 12##2- 摘 要 采用微波等离子体 法在 硬质合金基体表面沉积金刚石涂层 在金刚石的形核和生长 ! * - : ’ 345 67345 89 阶段分别采用不同的沉积条件 研究了分步沉积工艺对金刚石涂层形核 质量及其附着性能的影响 结果 ’ ; ) 表明 采用分步优化的沉积工艺 可明显改善金刚石涂层与刀具基体之间的附着性能 这主要是由于基体 ! ’ ’ 表面形核密度的提高 增大了涂层与基体之间的实际接触面积 ’ ) 关键词 金刚石涂层 形核密度 附着性能 ! 中图分类号! 1% %2 文章编号!:+,:?1*##%-#,##%:,#1 = =9 @ 引言 金刚石具有硬度高 耐磨损 导热性好 摩擦系数小及化学惰性高等优异性能 是切削工具耐磨涂 345 ’ ’ ’ ’ 层的理想材料AB 以硬质合金 为基体的金刚石涂层刀具 在切削非铁材料如铝硅合金 陶瓷及各 ) * , - ’ ; C3 3D 种复合材料等领域具有广阔的应用市场 目前 在金刚石涂层的硬质合金刀具中存在的主要问题是金刚石涂 ) ’ AB 层与刀具基体之间的附着力过低 如何提高金刚石涂层与硬质合金刀具之间的附着力 是金刚石涂层刀具 ) ’ 进入大规模工业化应用的关键 在基体材料一定的情况下 提高薄膜附着力的途径主要有两种 一种是在沉 ) ’ ! A%B A1B 积薄膜或涂层之前对基体表面进行适当的预处理 另一种就是优化薄膜的沉积工艺 对于硬质合金基 ) 体 目前有关第一种途径的研究报道很多 常用的表面预处理工艺有表面粗化 表面刻蚀脱 以及在基体 ’