利用微波等离子体增强化学气相沉积法定向生长纳米碳管的研究.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 # # $$’ # ， ， ， D1; +# 71 + # A./-P $$’ （ ） !$$$(#,$L $$’L # $# L $)))($# M68M BINFO6M FO7O6M !$$’ 6P:2 + BP@ + F1- + 利用微波等离子体增强化学气相沉积法 定向生长纳米碳管的研究! ）） ） ） ） ! # 王 淼 李振华 竹川仁士 齐藤弥八 !）（浙江大学物理系，杭州 #!$$% ） ）（日本三重大学工学部，津 !’()$% ） # ）（浙江大学力学系，杭州 #!$$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$# ’ ! $$# * !! 利用微波等离子体增强化学气相沉积法在氢气和甲烷的混合气体中定向生长纳米碳管 经扫描电子显微镜观 + 察与分析，发现纳米碳管在与基板垂直的方向上整齐排列，管径较均匀且长度基本相同+ 关键词：微波等离子体，纳米碳管 ： ， ， !## *) )!!$ )!$ ［］ ! 体 纳米碳管（ ） 是由碳原子排 法中，发生等离子体的方式通常有：直流电 -./012 2.213405 678 6DE ［ — ］ 列成六角网面的石墨片卷曲而成的圆筒状中空管+ 弧放电、微波放电、高频放电等 !! !’ + 本文利用微波 其直径为纳米量级，而长度一般为微米或毫米量 放电法即ABC6DE 法，制备出纳米碳管薄膜，目的就 ［］ 是为电子发射源提供一种新的材料 把制备出的纳 级 + 它具有长径比大，且顶端尖锐、导电性好、表面 + 米碳管薄膜利用场发射扫描电子显微镜（ ）对其 化学稳定性好和机械强度高等优点 以纳米碳管作 FCA + 形貌进行了观察与分析，其模式图如图 所示 为电子发射材料与目前使用的电子发射源相比，在 !