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基于隧道效应的纳米级振动检测及测量.pdf
第 22卷 第 期 电子测量与仪器学报 Vol.22 No.2
2
- - 4
6 JOURNAL OFELECTRONICMEASUREMENTANDINSTRUMENT 2008年 月
基 于隧道效应 的纳米级振 动检测及测量
李梦超 傅 星 胡小唐
(天津大学精密测试技术及仪器 国家重点实验室 ,天津 300072
摘 要 扫描隧道显微镜是高精度纳米级表面测量仪器 由于扫描 隧道显微镜工作 时 的隧道 间隙在几个纳米左右 外界
! , ,
任何微小 的随机振动传递到仪器都会对测量结果产生影 响 ,失去被测物表面 的特征信息 0 因此 ,研究微振动 ,特别是低频纳
米级振动在隧道状态下对隧道 间隙的影响具有很重要 的意义 0 实验表 明 ,实验 系统在 隧道状态下对纳米级振动有很好 的幅
频响应 0
! , , ,
关键词 扫描隧道显微镜 隧道效应 隧道 间隙 幅频响应
中图分类号 TB936 文献标识码
! !A
Measurementanddetectionofnano Levelvibrationbasedontenneling Effec
t
LiMengchao fu Xing Hu Xiaotang
( , , ,
StatekeyLab.ofprecision MeasurementTechnoiogyand InstrumentTianjin UniversityTianjin300072 China
AbstractScanningtunneiingmicroscopyisananoieveisurfacemeasurementinstrumentwith high precision becauseofthesev-
: ,
erainanometertunneiinggap externairandomiowfreguencyvibrationhasgreatinfiuenceonthemeasurementresuit.Itisveryusefui
,
tostudytheinfiuenceofthenanoieveivibrationonthetunneiinggap.Experimentsdemonstratethatthesystemhasgoodampiitude-fre-
guencyresponsetothenanoieveivibration in thetunneiingstate.
: , , ,
Keywordsscanningtunneiingmicroscopytunneiingeffecttunneiinggap ampiitude-freguencyresp
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