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液压气动与密封 年第 期 /2008 2 现代气动技术理论与实践 第七讲 电气伺服阀 : / 蔡茂林 北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院 北京 ( , ) 100083 中图分类号: 文献标识码: 文章编号: TH138 A 1008-0813(2008)02-0050-04 制阀和喷嘴挡板型伺服阀两大类 比例控制阀根据输 0 前言 。 入信号的大小成比例地输出流量或压力 是在传统的 由于伺服电动机 步进电动机等电气伺服驱动机 , 、 手调式阀基础上添加比例电磁铁发展起来的 而喷嘴 构在工业现场的日益普及 气动伺服系统通常仅限于 ; , 在高湿度 强磁场 要求防爆等恶劣环境下使用 近些 挡板型伺服阀输出的流量或压力未必与输入信号成正 、 、 。 比 但分辨率高 灵敏 适合高精度控制 价格通常也比 年,由于空气的柔软性以及使用中不产生热和磁场等 , 、 , , 比例控制阀高出较多 由于喷嘴挡板型伺服阀出现早 优点被重新认识 半导体精密制造中光刻机用的减振 。 , , 是传统的伺服阀 因此习惯上有将电气伺服阀等同于 台 医疗仪器 康复设备上开始出现气动伺服系统的身 , / 、 、 影,并有逐步扩大的趋势。 喷嘴挡板型伺服阀的做法。 在构建气动伺服系统时 电气伺服阀作为控制元 , / 件是系统中最为关键的构成要素 电气伺服阀的广义 。 / 定义为 对应电压或电流的模拟输入信号的连续变化 : 可连续相应地控制输出流量或压力的阀[1] 。 对电气伺服阀进行大分类 如图 所示有比例控 / , 1 收稿日期: 2008-2-18 作者简介 蔡茂林 男 教授 博士生导师 主要研究方向是气动 : ( ), , , 1972- / 图 电气伺服阀的分类 1 / 系统的节能 测量 仿真与控制 、 、 。 !!!!!

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