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等离子体表面技术和在有机材料改性应用中的新进展.pdf

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维普资讯 第l7卷第6期 高分子材料科学与工程 v0l【17 .6 200]年 11月 POIYMER M ATERIAlSSCIENCE AND ENGINEERING N0 . 2001 等离子体表面技术和在有机材料改性应用中的新进展 杨 超 .邱 高 东华大学应川t物 系 上海 200051j 摘要:综述 了20世纪 90年代 以来低温等离干体表面技术及其在有机材料改性应用中的新进展 。舟质阻 挡放电和远等离子体处理是实现工业化和获得更好的等离于体表面改性的新方法 。 目前的研究更多地 熹注于等离子体接枝表面改性 .即将不 同P·J.能的单体接枝于用等离子体处理过 的材料表面获得木九性 表面改性-以提高材料 的粘r,rf~ 、嚏湿rPJ.、吸附性、导电性和生物相客性等。对低温等离干体表面改性技 术的研 究和应用进行 了展 望 。 关键词 :低温等离子体 :有机材料;表面改性 中圈分类号 :0539 文献标识码 :A 文章编号:】000+7555(2001)06—0030.05 等离子体技术在有机材料上 的应用始于 维持 。优点是设备简单、功率大、容易控制 ;但耗 2O世纪 6O年代末,有如下优点;①属干式工 散功率大.即大部分能量用于材料温度的升高 , 艺.省能源,无公害,满足节能和环保的需要;② 限制 了参数的独立性,处理绝缘材料困难,也会 时间短,效率高;③对所处理的材料无严格要 出现空心极效应。这些缺点极大地限制了直流 求,具有普遍适应性;④可处理形状较复杂的材 二极放 电在有机材料上的应用。 料,材料表面处理的均匀性好:⑤反应环境温度 射频和微波放 电:又称无电极放 电.分为电 低。@对材料表面的作用仅涉及几到几百纳米. 容偶合式、电感偶合式和微波放 电。前两者分别 材料表面性能改善 的同时.基体性能不受影响。 以高频 电容 电场和涡旋电场来获得等离子体 . 因此 ,该技术特别适应于对温度敏感的有机材 原理相近,构造相对简单,教果优 良,得到广泛 料的表面改性 近 lO年来.人们对它越来越感 应用。微波放 电是 电磁控制管产生的微波经波 兴趣 .在理论研究、实验方法、生产实践上都有 导管和微波窗传人放 电室.当放 电室内的磁场 了较大的进展。 强度使得 电子的回旋频率和输入的微波频率相 等时 .微波使电子运动加速 ,促发等离子体。微 1 低温等离子体表面技术殛其新发展 波放 电的电离度高.气体具有更高的活化程度 , 1.1 低温等离子体的产生 因而能在更低温度下获得和维持具有更高能量 低温等离子体是指气体温度 在 30O~ 500 的等离子体 .更适合对温度敏感材料如有机薄 K,压 力在l3.3~ l333Pa(介 质阻挡放 电时为 膜的处理,但设备造价较高。 常压)的稀薄低压等离子体,可用紫外辐射、X 介 质阻挡放 电(DBD)实验室中所用的辉 射线、放 电、加热等方法使气体 电离得到,实验 光放 电须配备真空系统+费用高、操作复杂,工 室和工业上大都采用放 电方式产生 。 业连续性批量生产困难。介质阻挡放 电是将绝

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