Mg掺杂浓度对MgxZn1-xO薄膜结构和光学性能的影响.pdf

第40卷第2期 人 工 晶 体 学 报 v。1．40N。．2 OF 1 20l1年4月 JOURNALSYNTHETICCRYSTALS April，201 Mg掺杂浓度对Mgx Znl吠0薄膜 结构和光学性能的影响 赵婷婷，张海明，高 波，朱彦君 (灭津J：业大学理学院。天津300160) 的表面形貌、成分、品体结构和光学性能进行r研究。SEM测试结果表明，低Mg掺杂浓度时，Mg，Zn。。O表面半整 致密，但随Mg浓度的增加，薄膜表而平整度降低。XRD测试结果表明在低浓度F M‰Zn。．，O薄膜是ZnO的纤锌矿 结构，而没自．ff{现MgO的分相，ZnO的衍射峰峰强随Mg浓度的增加逐渐减弱。不同Mg掺杂浓度卜．的光致发光谱 图均出现了近带边紫外发射峰和町见光发射峰，其中近带边紫外发射峰随掺杂浓度的增大出现了明显的蓝移。 关键词：超声喷雾热解；Mg，Zn。。O薄膜；光致发光 中图分类号：0484 文献标识码：A Influenceof ConcentrationonStructureand MgDoping of ThinFilms OpticalProperties MgjZnl吖O ZHAO Ting—ting，ZHANGHai—ming，GAOBo，ZHUYan-jun (School 300160。China) ofScience，TianjinPolytechnicUniversity，Tianjin 1 November 21December (Received 2010，accepted 2010) thinfilmswithdifferent on Si Abstract：Mg，Znl。O Mg concentrationswerefabricated doping p-type substratesultrasonic technology．The structures using spraypyrolysis and were electro diffraction(XRD) opticalpropertiesinvestigatedbyscanningmicro-scopy(SEM)，X—ray and resultsindicatedthatthesurfaceof filmswith photoluminescence(PL)，respectively．TheMg。Znl唷O low concentrationswasflatand the offilmsincreased鹊the Mg