Nanosys-1000机床静压止推轴承流场分布规律及承载特性.pdf

第21卷第1期 光学精密工程 V01．21No．1 andPrecision 2013年1月 Optics Engineering Jan．2013 文章编号 1004—924X(2013)01—0144—07 000 机床静压止推轴承流场 Nanosys——1 分布规律及承载特性 夏毅敏¨，杨添任1，张冈4强1，罗松保2，禹宏云1 (1．中南大学高性能复杂制造国家重点实验室，湖南长沙410083； 2．北京航空精密机械研究所航空科技重，瓿实验室，北京100076) 摘要：为了提高Nanosys一1000非球面曲面光学零件超精密加工机床加工精度，研究了机床核心部件静压止推轴承内流 场分布规律，进而揭示其承载特性。利用ANsYs／Fluent软件建立对称结构静压止推轴承扇形油垫的仿真模型，采用层 流模式对进油压力为1．3～1．9MPa、油膜厚度为20～36且m的油垫流场分布规律与承载特性进行分析。研究结果表 明：油垫内压力在油腔区域比较均匀，沿封油边呈线性下降；油膜承载力随油腔压力线性增长，且在同一进油压力下，油 膜厚度越小，油膜承载力越大，进油压力为1．5 5 Pa增加 MPa时，油膜厚度从36肛1TI减小到20弘m，油腔压力从3．05×10 109 到8．02×105Pa，油膜承载力相应地从880N增加到2 N；同一负载即油膜承载力下，进油压力越高，油膜厚度越大， 320 油膜承载力为1 N时，进油压力从1．3MPa增加到1．9 MPa，油膜厚度从26肚m增加到30肛m；同一油膜厚度下，进 MPa，润滑油流量从0．179L／min 油压力越高，润滑油流量越大，油膜厚度为28“m时，进油压力从1．3MPa增加到1．9 增加到0．231 关键词：超精密加工机床；液体静压止推轴承；流场分布；承载特性 中图分类号：THl33．3文献标识码：A doi：10．3788／OPE0144 Flowfielddistributionand characteristicsof bearing thrust in 000machine hydrostaticbearingNanosys一1 XIA Yi—min¨，YANGTian—renl，ZHANG 2，YU Gang—qian91，LUOSong—baoHong—yunl (1．State KeyLaboratoryof High—performanceComplexManufacturing． CentralSouth 4 University，Changsha10083，China； 2．AviationScienceand Precision