吡啶基离子液体对铜电沉积初期行为的影响.pdfVIP

第30卷专辑 中 国稀土学报 ：012年8月 !!!：!!1211：!!翌! 一 JOURNALOFCHINESESOCIETYOFRAREEARTHS Aug．2012 ====皇=；==========毫====皇==毫==皇==皇=======宣==葛=====冀=====皇=====毒====：．一 ：： = = = = ：= = ： = 昌： =： = 吡啶基离子液体对铜电沉积初期行为的影响 张启波’，华一新，李艳，徐存英，李坚 (昆明理S-大学冶金与能源工程学院，离子液体冶金重点实验室，云南昆明650093) 摘要：采用循环伏安和计时安培法研究铜电极上吡啶基离子液体对铜的电沉积初期电结晶形核和生长行为的影响。结果表明， 铜的电沉积过程经历了晶核形成过程，其电结晶按瞬时形核和三维生长方式进行。吡啶基离子液体的加入对铜的电沉积具有阻 化作用，使得铜的电结晶由瞬时形核向连续形核的三维生长方式转变。 关键词：铜电沉积；电结晶；吡啶基离子液体；形核 中图分类号：0646 文献标识码：A 文章编号：1000--4343(2012)--0216--04 随着电子技术的迅速发展，对作为中间层的铜 mg．dm。(该浓度的选取以前期研究工作为依据p1)。 V 镀层要求越来越高，如超大规模集成电路的金属化 循环伏安测试选定扫描区间在0．05—0．50 需要高品质的铜镀层[1,2J。添加剂在金属电镀中应用 内，以扫速10mV·S。1进行两段扫描。铜盘电极@4 mmxlO 十分广泛，其对电结晶形核和生长行为及沉积层形 mm)和铂棒电极(④1 mm)分别做工作电极 貌均有直接的影响【3】。一般说来，添加剂的作用主 和对电极，参比电极为内置于鲁金毛细管的饱和甘 要是通过其在电极表面的阴极吸附，改变电极活化 汞电极。实验前工作电极经细砂纸打磨，再由氧化 能[4】和电化学反应的电荷传递速率，从而影响电结 铝粉末在麂皮上抛光，然后在在丙酮中清洗后，再 晶机理【5】。初期金属相形成过程直接决定着金属的 用蒸馏水冲洗干净，晾干备用。在选定的电位范围 结晶形态和沉积层品质及物化特性[6】。因此，对这 之间(施加一个恒电位)进行计时电流测试，记录时 一时期的金属沉积情况的研究尤为关键。 间与电流的关系曲线。 离子液体作为一种新型的“绿色溶剂”，由于独 表1吡啶基离子液体的名称和分子结构 of 特的结构特点，具有化学热稳定性好、蒸汽压低、 Table1Nameandmolecularstructures ionic 电导率高、毒性小、电化学窗口宽等特性[178]，将其 liquids 用作金属电沉积的添加剂，有望提供一类高效、环 名称 分子结构 境友好、化学热稳定性高的新型添加剂。本文运用 循环伏安和计时安培法研究毗啶基离子液体对铜的 丁硫 基酸 吡氢 ．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．L —一卜 敝 №啶盐① mU 电沉积初期电结晶形核和生长行为的影响。 N一己基吡 1实验方法 采用循环伏安和计时电流测试方法研究吡啶基 离子液体(分子结构见表1)对铜在CuS04一H2S04体