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2015-09-17 发布于重庆
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光学元件表面划痕的可视化检测.pdf

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第卷第期西安工业大学学报３２６Ｖｏｌ．３２Ｎｏ．６　　　　　　　年月　　　　　　　　　　　 ’ 　　　　　　　　　　　２０１２０６ＪｏｕｒｎａｌｏｆＸｉａｎＴｅｃｈｎｏｌｏｉｃａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔＪｕｎ．２０１２　　　ｇ　ｙ文章编号：（）１６７３９９６５２０１２０６４４７０４　－－－光学元件表面划痕的可视化检测＊ ? ，潘永强刘鹏（，）西安工业大学光电工程学院西安７１００３２：摘要光学元件表面缺陷的存在会影响元件的功能和美观应用显微成像法完成对缺陷图．　　，，像的采集运用Ｍａｔｌａｂ图像处理工具对缺陷图像进行图像处理提取出划痕缺陷的灰度值特征和几何像素数尺寸特征根据传感器的像素尺寸和显微物镜的放大倍数从而近似得出．ＣＣＤ，；，划痕的实际尺寸实验中所测得的划痕最长有最短为最宽为．１０４．３３ｍ５．５７ｍ２．３７ｍ μ μ μ ；，最窄为１．３０ｍ灰度均值最大为１７５最小为９７． μ ：；；；；；关键词划痕显微成像法ＣＣＤＭａｔｌａｂ灰度值几何尺寸　中图号：ＴＰ７５１．２文献标志码：Ａ　　　　　　［］４光学元件的质量好坏对光学仪器的性能有着分为成像法和能量法文中的检测对象是小口径．　　［］５，，直接的影响