离子液体辅助溶胶-凝胶法制备ZnOAl透明导电薄膜及其光电性能研究.pdfVIP

第40卷第3期 人 工 晶 体 学 报 V01．40No．3 OF 2011年6月 JOURNALSYNTHETICCRYSTALS June，2011 离子液体辅助溶胶-凝胶法制备ZnO：AI 透明导电薄膜及其光电性能研究 赵金博1…，吴莉莉1”，邹 科1”，于伟燕1’。，李高增1’2 (1．山东大学材料液固结构演变与加工教育部蘑点实验窀，济南250061； 2．山东大学材料科学与工程学院，济南250061) 摘要：采用溶胶一凝胶法，以离子液体为辅助溶剂，在玻璃衬底上制备了ZnO：A1(ZAO)薄膜。通过x．射线衍射 (XRD)、场发射扫描电镜(FE—SEM)、紫外一可见分光光度计(UV—Vis)和霍尔效应等测试手段，分析了不同Al掺杂 浓度ZAO薄膜的微观结构、光学和电学性能。结果表明，所制备的薄膜为非(002)取向的多晶膜。随着m离子掺 杂浓度的提高，薄膜的(002)晶面取向增强，晶粒逐渐由片状向球形转变，电阻率先降低后升高。进一步研究发现。 在还原气氛NH，下退火可显著降低薄膜的电阻率，AJ掺杂浓度为1m01％时，薄膜电阻率达到4．7×10’2Q·cm，可 见光透过率平均在80％以上。 关键词：透明导电薄膜；ZAO薄膜；离子液体；溶胶一凝胶；光电性能 中图分类号：0484 文献标识码：A PhotoelectricofZnO：AI ConductiveFilms Properties Transparent Ionic AssistedMethod Preparedby Liquids Sol-gel ZHAO Jin—b01”，WULi—lil’。，ZOUKel”，YU Wei-yanl”，12Gao-zen912 for StructuralEvolutionand of of (1．Keyl_aboratoryLiquid—Solid ProcessingMaterials，MinistryEducation． SchoolofMaterialsScienceand ShandongUniversity，Jinan250061，China；2 University，Jinan Engineering。Shandong250061，China) 28 201 201 (ReceivedFebruary1，accepted10却r／l 1) conductiveZAOfilmswere methodon substratesassisted Abstract：Transparent preparedbysol—gel glass ionic effectofA1 concentrationonthe andelectrical by liquid．The doping microstructures，optical ofthefilmswere electr