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超声学 声表面波加速度传感器的设计 黄杨青，王文 声学微机电实验室 摘要：声表面波加速度传感器一般由作为悬臂粱的压电基片，及基片上的声表面波器件和质 量振子构成。质量阵子受力运动引起悬臂梁形变，从而改变延迟线两个叉指换能器间距离， 由此延迟线上的声传播时延变化。最终输出电信号的相位发生变化反应了悬臂梁的振动幅度。 而悬臂梁的物理尺寸直接影响了传感器的灵敏度，动态范围等参数。本文介绍了选取悬臂梁 尺寸的几个考虑参数，计算出符合工业要求的理论值，并实际验证了计算结果。最终选择了 17mm*3．65mm*0．45mm的悬臂梁结构，它可以测出低至0．5m／s2的加速度，有：t：500m／s2的动 态范围。 关键词：声表面波加速度悬臂梁 1 引言 声表面波(SAW)传感器在经过数十年发展，有易制作，低成本，高灵敏度， 良好的稳定性和可靠性等诸多优点。同时，更是因其可用来制作无线无源传感器 成为了普通传感器无法取代的优势。 传统MEMS加速度传感器检测技术主要分为电容式和压阻式两种。压阻式加 速度传感器利用硅材料的压阻效应来敏感被测加速度，它的优点是频率响应特性 好、测量方法易行、线性度好，但温度效应严重、灵敏度低。电容式加速度传感 器利用电容极板位移，将被测加速度转换成电容的变化来测量，其基本特征是工 作性能稳定、温度漂移小，同时也存在灵敏度低和响应速度慢等问题【11。 本论文的研究利用声表面波器件制作的加速度传感器有效地的解决了 MEMS加速度传感器对低于1 m／s2的加速度变化不敏感的缺陷。同时，其简单的 结构使得它能比MEMS器件使用寿命长久。此外，SAW加速度传感器也具有优 良线性度。在高温高压的环境里，声表面波传感器的无线无源的优势更可以确保 操作人员和操作台的安全性。 声表面波加速度传感器主要分为三种，推拉式结构，套筒式结构，和悬臂梁 结构。悬臂梁结构相较于其他两种结构，有高灵敏度和便于设计的优势。故而本 文讨论悬臂梁结构设计对传感器灵敏度和动态范围变化的影响，计算出一种小尺 寸的悬臂梁结构，可用于±509的加速度检测，同时还保持0．059的灵敏度。 2 SAW加速度传感器的悬臂梁结构 悬臂梁加速度传感器的基本结构如图1所示。标号l为金属基座，标号2为 悬臂梁，标号3为金属质量块，标号4为加速度传感器的底座。 金属基座l的中间凿有一个凹槽，插入有压电晶体材料制作的悬臂梁2。悬 ．．403．． 皇垦型堂堕童堂婴童匝塑盒建逝墨Q周年暨第五届学术交流会 臂梁2上有两个声表面波器件5和6，分别位于悬臂梁最远离和最靠近金属基座1 的位置。同时，悬臂梁2在离金属底座l的最远端放置着质量块3。 图1悬臂梁式SAW加速度传感器结构 SAW器件5和6分别工作在不同的频率上。当加速度传感器振动时，末端器 件6的振幅最大，但该处受到的应力变化最小，故而器件6的工作频率基本不变， 可作为参考端；初段器件5的振幅最小，受到应力变化最大，故而器件5在一定 范围内变化其工作频率，可作为变化端。当传感器振动时，读取器件5和器件6 的工作频率差值大小，能反映出传感器受到的加速度大小。 3悬臂梁的尺寸设计 JerzyFilipiakt2】等人提出了一种数学模型分析悬臂梁尺寸对其固有频率的影 响，具体表达式为如下： 2纠射72c争压 公式中参数fo代表悬臂梁的固有频率，h为悬臂梁厚度，l为悬臂梁长度。E。 是悬臂梁选取材料的杨氏模量，P则为材料密度。r代表质量块与悬臂梁本身质量 之比。 当外部加速度相同时，悬臂梁固有频率越低，器件5与器件6工作频率的差 值范围越大，意味着传感器灵敏度越高，即能测量出更小范围的加速度变化。因 此，质量块越重，r值越大，fo越小。同时，杨氏模量小的材料形变更大，故而选 择大密度且Ee小的材料。如表1所示，石英和LiTa0313l同都比较符合这两项要求， 对比两者杨氏模量，本文选用石英材料。 表1悬臂梁