发射光谱法研究无极灯等离子体参数分布.pdfVIP

第3I卷，第9期 光谱学与光谱分析 voI．31，No．9，PP2533-2535 2 0l and 1年9月 SpectroscopySpectralAnalysis September，2011 发射光谱法研究无极灯等离子体参数分布 王长全，张贵新，王新新，邵明松，董晋阳，王赞基 清华大学电机工程与应用电子技术系．北京100084 摘要使用电感耦合放电装置和拍型明泡。以氲·汞混合气体作为工作气体t在低气压下点亮了无极灯。 利用发射光谱法，研究了无极灯点灯5s时的电子温度和电子密度随轴向和径向位置的变化规律。等离子体 电子温度变化通过分析Ar原子425．9和750．4nm谱线强度比值获得，等离子体电子密度的变化通过分析 Ar原子750．4 rlm谱线强度变化得到。实验发现泡体内的不同位置等离子体电子温度和密度不同。当轴向距 离增加时，电子温度先缓慢增加后减少再迅速增加而后减少．电子密度先迅速增加后快速减少再缓慢增加 而后减少；当径向距离增加时，电子温度先增加到平稳区而后再增加．电子密度逐渐减少。 关量词无极灯；电子温度；电子密度；发射光谱 中田分类号：TM835．4．0433．1文献标识码：A 流器)产生2．65MHz左右的高频电流，该电流通过高频馈 引言 线(同轴电缆)流过耦合器线圈，产生的电磁场激发泡体内的 无极灯由于具有商光效、长寿命、无额闪等优点．已被 Ar-Hg混合气体放电产生等离子体。实验中，泡体内填充18 Pa的氩气和少量的Bi-In-Hg高温汞齐。为防止荧光粉对放 应用于道路照明、分析化学、灭菌消毒及污染控制等领 电的影响，实验中采用未涂荧光粉的透明泡体进行实验。采 域【l“。关于无极灯的研究，以往主要集中在电感耦台等离 mm的刚玉陶瓷管控制光纤探 用外径为4r啪．内径为2．5 子体(inductivelycoupledplasrm，ICP)放电机理方面．而对 头接收光的部位，以实现定点测量发射光谱谱线强度．高额 无极灯中等离子体参数的分布规律的研究较少n]。但近年 MHz左右．且可实现阻抗的自动 发生器输出频率约为2．65 来，由于能源危机和环境恶化等问题，节能环保的无极灯重 l P6015A．1000 匹配。高压探头(Tektronix 1)用来测量高频 新引起了人们的重视”】。 发生器的输出电压。耦合器线圈电流通过电流探头(Tektro— 电子温度和电子密度是等离子体的重要参数，决定着等 nixTCPA300，100MHz)获得。电压和电流信号由数字示波 离子体的应用领域和等离子体加工的效果。以往测量无极放 电的等离子体参数常使用Langmuir探针和吸收光谱的方法 直接测量H，“。但1．angmuir探针会对等