吸收透明导电薄膜生长与复光学常数测定.pdfVIP

年 月 深圳大学学报（理工版） $$ % C465$$ 第 卷，第 期 （ ） ， !( $ C;DEF9G;HAI,FJI,F DF:K,EA:BL A?:,F?,M ,FN:F,,E:FN K205!(F25$ 文章编号： （ ） !#$%!$$$#!#’ 吸收透明导电薄膜生长与复光学常数测定 马晓翠，舒启清 （深圳大学理学院，深圳 ） *!% 摘 要：用带特殊热 （冷）阱的可控制基片温度的电阻加热式真空蒸镀薄膜装置，把吸 收透明导电薄膜 和 分别通过热蒸镀和活化反应淀积在玻璃基片上 的电阻为 94 :6; +:6; $ ) $ ) ／ ，光学透射率不小于 透明导电薄膜的复光学常数可通过测量其反射和透射系 ! !+ 数得到，但考虑到基片背表面的存在，必须对反射和透射系数进行修正 引入修正后所得到 + 的复光学常数与椭偏测量的结果一致+ 关键词：吸收透明导电薄膜；反射系数；透射系数；复光学常数 中图分类号： = 文献标识码： ;5 ! 9 引 言 吸收透明导电薄膜广泛用于制作各种平板显示装置的透明电极，包括液晶显示屏和有机 ［，］ 发光二极管等 !$ 这类薄膜中最常用的是小于 的金属薄膜 （如 、 和 薄膜）， + )6- 94 9 ?4 以及 （ ， ）薄膜和掺 的 （ ， ）薄 ?@A6; 3.@-/4-#8/6#21/@7 ?B; A6 :6; /6@/4-#8/6#21/@7 :B; $ $ ) ［ ］ ［］ 膜)#% ’ 复光学常数 （ ）是表征吸收透明薄膜性质的重要参数 本文给出一种可控制 + !/# + 基片温度的热蒸发薄膜生长设备，讨论了通过测量生长在透明基片上的吸收透明导电薄膜的 反射系数和吸收系数获取其复光学常数的方法 通常，求解薄膜复光学常数的计算公式是假 + 设薄膜位于一个半无限的衬底 （基片）介质上得到的 但是，对任一用于测量薄膜反射和透 + 射系数的实