移相式数字波面干涉仪中的几个技术问题.pdfVIP

第 卷 第 期 工 VOI. 99NO. 6 9 6 Z 0 0 1 年 1 Z 月 OPTICS AND PRECISION ENGINEERING Dec . 9Z 0 0 1 文章编号 1004-9Z4 (Z001D06-0584-04 X 移相式数字波面干涉仪中的几个技术问题 于瀛洁 韦春龙 陈明仪 9 9 上海大学精密机械工程系 上海 ( 9 Z000 ZD 摘要 光学件波面测量在光学加工业中有着大量的需求 近年来相关测量技术发展非常迅速 其中移相技术是较 : 9 9 典型的代表 发展日趋成熟并得到了广泛应用 以 型平面干涉仪为硬件基础 采用移相技术 解决了其中 9 O PG-15 9 9 移相值标定 相位解调 误差处理中的难点 研制了数字波面干涉仪 对干涉仪中的这几个关键技术问题进行了讨 ~ ~ 9 O 论 并给出了相应的解决方法 9 O 关 键 词 波面干涉仪 移相值标定 相位解调 误差处理: ; ; ; 中图分类号: 44.3 文献标识码: T~ A 干涉仪的结构示意如图 所示 测量装置中采用压电 1 O 引 言 陶瓷推动参考镜移动 以 摄像系统代替原用于 1 9 CCD 照相的相机 从被测表面和参考镜反射的光束干涉 由 O 9 在光学加工业中 对波面检测仪器有着大量的需 接收干涉场强信号 9 CCD O 求9用于满足各种用途 各种形状和各种尺寸的光学元~ 件的波面检测要求 其中波面干涉仪是应用最为广泛 9 ~ 测量精度较高的检测仪器 由于光学元件波面检测精O 度 检测速率 信息存储等方面的要求 当前更加需要 ~ ~ 9 的是数字化的检测仪器O 国外在这方面的工作起步早~ 发展快 已推出了大量应用于各种检测范围和用途的 9 数字波面干涉仪 在国内已有较多用户 近年来国内外 9 O 光学加工业不