平面调制靶的正弦波曲面超精密加工与表征.pdfVIP

第24卷第6期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．24，No．6 2012年6月 HIGHPOWERLASERANDPARTICLEBEAMS Jun．，2012 文章编号：1001—4322(2012)06—1429—05 平面调制靶的正弦波曲面超精密加工与表征+ 黄燕华，高党忠，谢军，童维超，袁光辉，马小军 (中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川绵阳621900) 摘要：采用超精密车削技术加工微尺度正弦波调制曲面微结构．解决了尖刃金刚石刀具刃磨和刀具对 中等关键技术，研究了进给量、背吃刀量和主轴转速等主要切削参数对铜模板表面粗糙度的影响规律。加工出 波长为(20～150)#m士0．5／xm、峰谷高度差为(0．2～20)pm±0．1pm的带正弦渡调制曲面。采用原子力显 微镜对模板表面轮廓扫描，在20pm×20“m的范同内。其表面粗糙度均方根值小于10i]m。将正弦渡调制曲 面测量结果与理论轮廓进行比较，采用最小二乘寻优算法评定轮廓误差。完成了曲}fi『轮廓的功率谱表征，利用 加工的曲咏微结构制备了平面调制靶，实现正弦波调制曲面轮廓的精确转移。 关键词： 瑞利一泰勒不稳定性； 平面调制靶； 超精密车削； 功率谱 中图分类号：0534}THl61文献标志码：A doi：10．3788／HPLP1429 靶丸烧蚀过程中，靶丸表面的微小起伏、靶丸辐照的不均匀和不完全对称这些初始扰动会造成球壳变形直至破 裂，短波长扰动的增长会引起相对较冷的推进层与热核燃料的混合，影响燃料的高压缩，降低热斑温度，从而导 致内爆效率大大降低甚至完全失败¨1。理论证明，采用不同波长和振幅的平面调制靶及控制薄膜表面微结构 形成的扰动，能够模拟各种波长引起的对靶丸压缩、壳裂和混合过程的影响¨。4]。美国劳仑斯·利弗莫尔国家 正弦波曲面周期性调制面密度扰动来模拟靶丸表面的不完整性，采用X射线背景照明技术诊断获得不稳定性 统，加工出正弦波曲面，并以此轮廓作为图形模板复制出材料为玻璃、CH及PVC的平面调制靶¨]，并用于物 理实验，但其相关制备技术却很少有系统的报道。在国内，同济大学叶君建等采用激光全息干涉结合电镀Ni 图形转移工艺获得具有表面起伏图形的Ni模版，以流延T艺和热压工艺将图形转移至薄膜表面，经反复粘脱 膜工艺获得了掺溴聚苯乙烯等材料的平面调制靶[7]。然而由于图形需经过多次转移，其轮廓将产生变形，采用 该工艺对轮廓精度不易控制。本文采用超精密车削技术加工微尺度正弦波调制曲面微结构，并利用该曲面微 结构作为图形模版制备平面调制靶，实现正弦波调制曲面轮廓的精确转移。 l加工条件及关键技术 正弦波曲面模板加工在进口的金刚石车床上进行，该车床采用气浮主轴，其径向跳动和轴向窜动为0．05 pm，径向和轴向刚度分别为62，88 N／／2m；z轴和z轴采用液体静压导轨和T型结构分布，导轨直线度0．5 mm；数控分辨力为10nm。 肛m／250 平面调制靶是在CH等低Z材料表面带有周期性调制(如正弦波)曲面的一种靶型。其工艺制备原理是 采用金刚石刀具超精密车削加工带正弦波曲面的铜模板，并以此轮廓作为图形模板，采用旋转涂覆等工艺，将 模板图形直接复制到薄膜材料上，分离后，获得所需的正弦波调制曲面薄膜。可以看出，特定波长A和峰谷高 度差目的正弦波曲面模板的加工至关重要，其加工质量决定了低Z材料调制曲面所能达到的质量上限。 对于较大尺寸光学元件的曲面加工，通常采用大曲率半径的圆弧形刀具¨]。由于调制曲面尺寸小，必须采 用尖刃刀具。除此之外，在物理实验中，有时需要在特定波长条件下研究不同幅值的表面微结构扰动变化规 律，尤其在需要深幅值的情况下，若刀尖角大．将会发生过切现象。本项目联合国内多家金刚石刀具的生产厂 家，通过对刃磨方法的改进和创新，目前能达到的技术指标为刀尖曲率半径小于2“m，刀尖角15。，能够满足 A／叩一5～10正弦波曲面加工。图1所示是刃磨的尖刃金刚石刀具。 *收稿臼期：2011，11—24；修订日期：2012．02—20 作者简介：黄燕华(1965一)，男，硕士，高级工程师．主要从事超精密微细加工技术研究；huangyanhuall3@163．corn。 万方数