平面非周期聚焦光栅的模拟设计.pdfVIP

第28卷第3期 烟台大学学报(自然科学与工程版) Vol.28 No.3 2015年7月 Journal of Yantai University (Natural Science and Engineering Edition) Jul. 2015 　 　 文章编号:1004 8820(2015)03 0219 05 doi:10.13951/ j.cnki.37 1213/ n.2015.03.012　 　 ■■■■■■■ ■ 研究简报■ ■■■■■ 平面非周期聚焦光栅的模拟设计 张昌盛,胡学宁 (烟台大学光电信息科学技术学院,山东 烟台264005) 摘要:使用严格耦合波分析和有限元模拟方法,设计了一种新颖的亚波长非周期高对比 折射率光栅(HCG).该HCG的结构参数在1．55 μm 波长能同时满足在Si材料上制作聚 焦反射镜和在GaN材料上制作聚焦透镜,且具有符合微电子工艺的平面结构.模拟结果 显示,2种HCG都具有大的数值孔径、很高的衍射系数和优秀的聚焦能力. 由于具有相同 的HCG结构参数,聚焦透镜和反射镜可以在制作工艺上使用同一光刻掩模版,这对需要 聚焦功能的器件,尤其是Si和III族氮化物集成器件的设计制作,提供了极大的方便. 关键词:聚焦;高对比折射率光栅;有限元方法 中图分类号:O436．1　 　 　 　 文献标志码:A 　 　 高对比折射率光栅(high index contrast grating, 菲涅尔透镜具有高度连续变化的同心圆片段,在微 HCG)是指高折射率的光栅条被低折射率介质包裹 [8] 加工工艺上也有非常大的难度 .近几年来,出现 [1] 的亚波长光栅 .在 HCG 中,被光栅条导行的光波 了一些新颖的有聚焦能力的平面非周期结构 HCG 很快被散射而不能向侧面传输太远,除了零阶模以 的研究报告,为研究超薄平面聚焦器件开创了新的 外的高阶衍射模都快速消失.这导致很多意想不到 方法.Fattal D等报道了在 1．55 μm 波长基于Si材 的特性,比如在很宽的波长范围可以获得高达99% [9] 料的一维透射聚焦光栅 ;Lu Fanglu等设计制作了 [2] [3] 的反射率 ,可以进行局部相位控制 等.周期性 基于Si材料的低损耗大数值孔径(numerical aper- HCG可以用来设计宽带反射器和高Q谐振器.随着 [10] ture,NA)反射和透射聚焦光栅 .这种平面结构 电子束光刻技术的应用,研究者已经成功制作了垂 的聚焦器件,符合微电子加工工艺,便于光电集成, [4] [5] 直腔表面发射激光器(VCSELs) ,高 Q谐振器 大幅度降低了反射镜或透镜的封装难度和成 [6] [11-13] 和低损耗空芯光波导 . 本 在通讯、成像、显示和传感等很多领域,需要光 本文设计了一种平面非周期的HCG结构,该结 聚焦器件来操控光.一般意义上的光聚焦器件是指 构既可以实现透射聚焦功能,也可以实现反射聚焦 传统反射镜、简单透镜、波带