超精密机床宏_微双驱动微位移机构的设计与控制_英文_.pdfVIP

第 17 卷 　第 6 期 　 光学 精密工程 Vol . 17 　No . 6 　　 　　　　　　 2009 年 6 月 　 　 　Op tics and Preci sion Engineering 　　　 　　　 　　 J un . 2009 ( ) 文章编号 　1004924X 2009 超精密机床宏/ 微双驱动微位移机构的设计与控制 李 　国 ,王 　波 ,董 　申,王石磊 ( 哈尔滨工业大学 精密工程研究所 ,黑龙江 哈尔滨 15000 1) ( 摘要 :提出了一种宏/ 微双驱动微进给机构的设计与控制方法 。介绍了宏/ 微双驱动微位移机构的结构设计 ,将宏动 大 ) ( ) 行程 和微动 高分辨率 两者串联以获得理想的运动性能 。该机构用步进电机作为宏动的驱动装置以获得大行程和高 响应速度 ,用压电陶瓷微位移器作为精密运动以提高运动分辨率和运动精度 。设计了该机构的控制系统 ,用一个基于模 型的开关控制器对微位移装置进行控制 ,并设计专门的运动分配模块对宏/ 微运动进行协调控制 。最后 ,分别控制宏动 和微动装置对该系统进行了实验 ,并用激光干涉仪检测 。检测结果表明 ,宏动装置的行程为 90 mm ,运动分辨率为 0 . 3 μ μ μ m ;压电陶瓷微动装置的行程为 40 m ,定位精度为 0 . 9 m 。理论分析和实验结果均表明了控制策略的有效性 。 关 　键 　词 :双驱动微位移器 ;开关控制器 ;控制策略 中图分类号 : T H703 . 8 　　文献标识码 :A Design and control of dualstage f eed drive system in ultraprecision machine tool s L I Guo , WAN G Bo , DON G Shen , WAN G Shilei ( ) Cente r f or P recis ion E ng i nee ri ng , H a rbi n I ns t i t ute of Tech nol og y , H a rbi n 15000 1 , Chi n a Abstract : The de sign and cont rol of a Dualst age Feed Drive (D SFD) sy st em on a ult rap reci sion ma chine i s p re sent ed . The D SFD sy st em co mbining coar se (lar ge st ro ke) and fine (fine re solution) drive st age s in serie s i s de signed to p rovide t he de sired p erfor mance ,in w hich a st ep motor i s u sed for t he coar se motio n to o bt ain t he lar ge st ro ke and fa st re spon se sp ee