Development of a reversible machining method for fabrication of microstructures by using microEDM.doc

大 连 理 工 大 学 本 科 外 文 翻 译 微细电火花可逆加工微结构方法的发展 Development of a reversible machining method for fabrication of microstructures by using micro-EDM 学 院（系）： 机械工程学院 专 业：机械设计制造及其自动化 学 生 姓 名： 学 号： 指 导 教 师： 康仁科 教授 完 成 日 期： 2012-03-17 大连理工大学 Dalian University of Technology 微细电火花可逆加工微结构方法的发展 彭子龙a,b,*，王振龙a,b，董颖怀a，陈辉a a微系统与微结构制造重点实验室（哈尔滨工业大学），教育部，哈尔滨，150001，中国 b哈尔滨工业大学，机电工程学院，邮政信箱421，哈尔滨150001，中国 文章信息：2008年11月14日接受，2009年7月26日修正，2009年8月12日网上可阅览。 摘要 用微细电火花（EDM）可逆加工微细金属结构是一种新的微加工方法。可逆加工使微细电火花沉积加工与选择性去除材料相结合，能够让金属材料的沉积与去除在同一套微细电火花加工系统中完成。从微细电火花加工的放电机理出发，首先对微细电火花加工沉积的工艺条件进行了分析。使用黄铜和钢作为工具电极材料，使直径为200μm、高度直径比超过5的微圆柱沉积在高速钢表面。通过改变工艺条件，可以很容易地使加工过程从材料沉积转变到选择性材料去除。加工过程中使用了不同的材料去除方法，如微电火花钻削、微电火花铣削。在沉积的微型钢柱径向方向上成功的钻出了直径为80μm的微孔。此外，通过微电火花铣削得到了边长为70μm、高为750μm的黄铜方柱和直径为135μm、高度为1445μm的微柱体。最后，对沉积材料的特点进行了分析。结果表明，沉积得到的微柱体材料组织和工具电极几乎一样，已经形成了冶金结合。此外，钢沉积材料的维氏硬度为454Hv，比粗钢电极的200Hv高。 关键词：可逆加工；微细电火花沉积；选择性去除材料；微三维结构 1.引言 由于在微机电系统（MEMS）方面研究的发展，微加工越来越受到人们的关注。三维微型零件的制造是微制造领域中至关重要的部分。目前来看，几种微细加工技术有其特定的应用领域和优点。硅基微细加工技术是可逆微加工的重要环节，因为它与微电子技术息息相关。然而，该技术有一些局限性，包括准三维结构、低延展率和对工作材料的限制。LIGA（Lithographie，Galanoformung and Abformung即光刻、电铸和注塑）技术是另一种强大的微加工技术。它能实现数百到数千微米厚的大型结构上的高延展率微结构的高精密加工（Malek 和 Saile，2004）。但是在该过程中，制造一个具有倾斜或自由表面的三维微结构是十分困难的。此外，LIGA中的设备又贵又特别，这也限制了它的应用。微电火花加工是制造复杂的三维结构的加工工艺方法之一。该技术能够加工几乎所有的导电材料并可以实现高精度、高品质加工，而不用考虑材料的硬度。随着微细电火花加工的发展，制作一个直径0.1mm或者更小的微型工具电极变得很容易。此外用简单形状的工具电极，根据三维数控代码逐层扫描加工三维微结构的方法变得很普及。 自从微细电火花加工用于微制造以来，很长一段时间被用于去除材料，尤其是用于难切削材料的材料去除、微细孔加工和自由曲面的微三维结构的加工。一般情况下，我们需要极低的微细电火花加工单脉冲放电的能量，导致加工过程中的很小的放电间隙。放电部位被限制在一个很小的空间里，导致工具电极的损耗很高。高的电极损耗率将影响加工的稳定性、加工精度和电火花加工效率。这对于微细电火花加工是不利的，应尽量降低它的影响。 另一方面，对微细电火花加工的放电现象进一步研究发现，在适当的条件下，工具电极材料还可以沉积在工件表面形成微结构，我们把它叫做微电火花沉积过程。电火花加工中高的电极损耗率，有利于沉积加工。在这种情况下，工具电极材料是沉积过程中材料的来源。Hayakawa等日本学者首先对微细电火花沉积进行了研究。他们报告说，当工具电极作为阳极，并且加工过程在空气中进行时，沉积过程就能实现。作为工具电极和工件，直径为0.14mm高度为2.2mm的钢柱的材料已经成功地沉积在工件的表面。他们认为，在微细电火花沉积过程中，每个脉冲放电沉积的材料厚度比工具电极上相应坑的深度要小，这扩大了放电间隙，避免了间隙的排屑浓度。此外，在沉积过程中加一个恒定的水平进给速率，便能在工件表面得到一定的曲线，包括直线、弯曲线和有一