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x射线光电子能谱仪研究与应用
王 迅
(复且大学应用表面物理国章重点窭验室,2oe433)
1995澳洲一亚洲 x射线光 电子能谱 (XPS)会议于 n 月 14—17El在澳太利亚悉尼召
开 会议的组织者为新威尔士大学化学系的RobertLamb和墨尔本 LaTrobe大学物理系
的JohnLiesegang,与会者 80人。会上发表论文 70篇 ,其中有 6篇邀请报告 ,报告人和题 目
如下 :M.Grunze(德国Heidelberg大学)的x射线光 电子发射和x射线吸收显微镜 ,王迅的
硫钝化 GaAs表面的x射线光电子能谱研究,S.McIntyre(加拿大WesternOntario大学)
的金属氧化物和硫化物表面的XPS定量测量,康燕堂 (新加坡大学)的改性 电激活聚合物的
XPS表征 ,R.Smart(澳大利亚南澳洲大学)的硅烷等离子体改性的氧化物表面层的XPS俄
歇参数研究,W.Nieveen(香港科技大学)的XPS作为常规工具在材料科学 中的表征 。会议
的主题是 XPS的最新发展及其应用。
1 XPS的技术和仪器
XPS已成为广泛应用的表面分析技术,因为它可 以提供表面化学状态的信息,可 以进
行定量分析,并且适用于绝缘体的表面。从 9O年代起 ,XPS在一些工业分析实验室中的作
用开始有所改变,它被用来解决一些商品中的表面分析问题。这就要求分析的空间分辨能力
从过去的lmm 变为 20微米直径以下,并且在一些分析中心实验室 中能提供化学状态的二
维成象,所以新一代XPS仪器需要满足以下的要求 :单位面积中有较高的灵敏度 ,较高的空
间分辨率 ,样品的精确定位,化学状态成象 ,高速的多点探度分布测量 ,非破坏性测试 。
目前至少有PHI和 FISONS(VG)两家公司提供商品化的XPS成象电子船谱仪。这些 -
仪器的特点有:①用电子枪代替灯丝来轰击靶材料,所产生的x射线源的面积可以比较小;
②用x射线单色仪来提高光源的单色性 ,从而使能量分辨率可以提高到 0.3eV,并且x线
经单色仪聚焦后在样品上的照射面积 比较小,例如 1mm。以下 ,而单位面积上韵光照强度是
比较大的;⑧用 了很好的电子透镜与聚焦系统,可以将光电子以面阵的形式通过电子能量分
析器 ;④用通道板 电子倍增器加 ccD照相机采集二维 的XPS元索象 。FISONS的Es—
CA2000仪器 可 以得到 1m 的空 间分辨率 ,而 PHI公 司的 Quantum2000的分辨率 是
10m,但 同时可 以得到每个象索中的XPS谱 。
2 XPS的应用
XPS不仅是用于研究的设备,而且大量应用于许多工业 中作为一种常规的检测工具,
如电子、光学、塑料、食品、汽车、计算机 、医药 、建筑、冶金、环保和失效分析等领域。分析的对
象包括半导体材料、电子封装材料、僵化荆 、聚合物、建材 、陶瓷、生物材料 (下转第35页)
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富勒烯 :化学、物理和新方向会议简介
顾 镇 南
(北京大学化学系 ,100871)
1995年 5月在美 国内华达州瑞诺市召开的 “富勒烯 :化学、物理和新方 向 会议 ,发表论
文 253篇 ,内容分三部分含 16个议题 :电化学 ,金属 内包合物 ,ESR研究 ,光激发态研 究,气
相质谱,萃取和纯化 l理论 ,有机功能化 ,技术上的应用 ,有机金属化合物 ,生化和药学 l表面
和膜研究,热力学 ,衍射、结构和固态物理,纳米管和纳米颗粒 ,富勒烯基的超导 。会议反映出
纳米管的生长机理、合成 、纯化和应用研究已取得较大的进展。美国HyperionCatalysisIn-
ternationa]公司用催化法从碳氢化合物可以每天生产 100磅纳米管。该法可控制地生产约
1 m长,4rim 内孔径,10nm外径无热解碳粒的纳米管。此种纳米管主要是 8层的结构 ,可
做导电塑料的填料,由于其长度和直径 比大 ,在溶液中浓度很低,即形成网络 ,添加此种纳米
管可保持塑料的原有特性。纳米管比表面达 200m。/g可做催化剂载体。由于其导
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