LED行业上游装备MOCVD的运行环境建设.pdf

LED行业上游装备MOCVD的运行环境建设 李志华 广东昭信半导体装备制造有限公司 摘要： 摘要： 摘摘要要：：本文介绍了半导体LED行业上游的MOCVD装备的运行环境建设。LED照 明有巨大的节能、环保优势，目前已经大范围应用，尤其是路灯照明那方面。 随着相关技术的深入研究攻克，LED照明将是大势所趋。LED上游最核心的装备 是MOCVD，该设备一直处于国外垄断状态下，过高设备价格和运行环境工程造 价使得LED的成本还比较高。幸好，目前国产工业级MOCVD设备已经进入市场， MOCVD设备价格有望大幅下降，给整个LED产业注入了强心剂。本人从事MOCVD 设备的电气开发多年，对MOCVD及其运行环境非常了解，认为运行环境的建设 仍有较大的价格空间，本文就从工程建设的角度，分享一下MOCVD设备的运行 环境建设，让更多的技术同行了解这个行业，从安全、实用，特别是成本的角 度上去优化这个行业，以加速LED照明的普及。本人内容有可能涉及技术保密 或工程应用差异问题，部分数据仅供参考，特请广大技术同行包涵。 关键词： 关键词： 关关键键词词：：LED照明；MOCVD；运行环境 中图分类号：U463.65+1 文献标识码：A 文章 编号： 1.前言 MOCVD 是Metal-organicChemical Vapor Deposition 的简称，即金属有机化 合物化学气相沉淀。MOCVD 是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元 素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延， 生长各种Ⅲ-V 族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材 料。它的主要功能在于沉积高介电常数薄膜，可随着配方的更换，而沉积出不 同种类的薄膜，如LED 晶片、太阳能电池薄膜等。 MOCVD 设备生产过程中，需要各种气体，也有混合气体的排放，为此需要 建设高质量的运行环境才能发挥其价值，保障生产过程、人身安全以及排放绿 色环保。 2. 运行环境 2. 运行环境 22.. 运运行行环环境境 MOCVD 要运行环境主要是气、水、电三方面，具体有如下几个系统：洁净 车间及通风系统，气源站，有毒气体监测及安全控制系统，冷却水系统，配电 系统。 2.1 洁净车间及通风系统 2.1 洁净车间及通风系统 22..11 洁洁净净车车间间及及通通风风系系统统 2.1.1洁净车间温湿度控制要求： 温度20~25℃；湿度45%~70%，无凝露。 2.1.2大气压强：86kPa~106kPa； 2.1.3净化级别：10万级或以上 2.1.4通风系统应该包括： （1）MOCVD 设备排风 MOCVD 设备自身一般设置通风口，用于自身部件的散热和气动执行机构 N2气体的排放。 （2）MOCVD 尾气系统排风 设备运行过程中，会产生尾气，应当增加尾气处理系统吸收尾气，同时达 到排放标准，经过尾气系统排风口排走； （3）车间紧急排风 设置紧急排风，当车间内有害气体泄露时，由安全控制系统自动开启，对 车间内进行换气，保障人身安全，环境安全。 （4）新风系统 设置新风系统，提高车间的舒适度，以及保证洁净车间内为正压。 2.1.5通风系统设计注意事项 （1）风量与正压的关系： （MOCVD 设备排风+尾气系统排风+漏风）＜新风量＜紧急排风 这样，一般情况下，洁净车间内是正压；紧急排风时，车间内为负压抽风。 工程上，风量和压差最好设计成可调，可以通过变频器、电动风阀等来实 现。 （2）空调系统的制冷量、制热量、加湿量等要考虑新风的因素，同时设计要求 上要体现节能，既考虑初建成本也要考虑运行成本； （3）部分区域防需要考虑爆设计： 需要评估车间的实际安全性，部分区域需要考虑防爆，如尾气处理系统附 近，应当考虑使用防爆灯、防爆风机等。 2.2 气源站 2.2 气源站 22..22 气气源源站站 2.2.1 必须按照国家有关法律法规进行建设，管理； 2.2.2 一般有H2站、N2罐、NH3罐等较大基建工程项目； 2.2.3较小体积的源也要设置通风柜，安全放置； 2.2.3气源站内需要防爆设计，需建专用的接地系统，防静电，防雷击； 2.2.4对于NH3罐或管道，还需要气管伴热系统，避免气体传输过程中液