PLD制备生物陶瓷薄膜的研究现状.pdf

2376 功 能 材 料 2004 年增刊 （35 ）卷 PLD 制备生物陶瓷薄膜的研究现状* ∗ 王迎春，李延民，丁建君，俞海良，李建国，周尧和 （上海交通大学材料科学与工程学院，上海 200030 ） [8] [9] 摘 要：脉冲激光沉积法制备HAP 生物陶瓷涂层是 材料的薄膜，如半导体薄膜 、超导体薄膜 、纳米 近年来发展的制备生物陶瓷涂层的一个十分活跃的 材料薄膜[10] [11] [12] 、巨磁阻氧化物薄膜 、铁电材料薄膜 研究领域。本文简要介绍了它的研究背景、原理与特 等，而利用脉冲激光溅射制备 HAP 生物陶瓷涂层是 点，并对其四个研究方向—溅射机理，沉积条件与涂 PLD 制膜技术中非常活跃的一个研究领域。中国在 层质量的关系，脉冲激光沉积新工艺，HAP 涂层的 90 年代中后期开始对PLD 制膜技术进行研究，主要 生理功能的研究现状进行了概括与总结。 集中于用PLD 制备Y-Ba-Cu-O 超导薄膜的研究上。 关键词：脉冲激光沉积；生物陶瓷涂层；溅射机理； 但利用脉冲激光沉积技术制备 HAP 生物陶瓷涂层， 沉积条件；生物相容性 却很少有研究者或学术单位进行系统的研究。 中图分类号：R3 18 文献标识码：A 2 PLD 制备HAP 生物陶瓷涂层的研究 文章编号：1001-9731 （2004 ）增刊-2376-05 背景、原理与特点 1 引 言 60 年代初，人们就发现激光与固体作用时，在 医用生物陶瓷是目前国内外正在蓬勃发展的生 固体表面附近区域产生的一个由该固体成分粒子形 物材料，羟基磷灰石是其中的明星产品。羟基磷灰石 成的发光的等离子体沉积于衬底上，就会形成薄膜， (HAP) ，分子式Ca (PO ) (OH) ,是人体骨骼的主要无 10 4 6 2 这就是激光制膜。1965 年，Smith 等第一次尝试用激 机成分，不仅具有良好的生物相容性，而且可以诱导 光制备了光学薄膜[13] 。1987 年美国贝尔实验室成功 骨生长并和生物组织形成牢固的键合，主要用于人体 地利用了短波长脉冲准分子激光沉积制备了高温超 骨、牙齿的替代与修复。但其强度、韧性等力学性能 导薄膜[14] ，随后人们对 PLD 制膜技术进行了广泛的 差，不能用作受力与承重构件[1] 。医用金属材料具有 研究。1992 年，Baeri 利用PLD 技术沉积制备出了具 优良的力学性能与加工性能，但其生物相容性差，易 有生物活性的羟基磷灰石生物陶瓷涂层[15] ，此后，各 腐蚀，很难与基体组织产生生物性结合，长期使用效 国的学者对PLD 技术沉积制备HAP 生物陶瓷涂层进