PMMA基微流控芯片的准分子激光制备方法研究.pdf

V01．25 高等学校化学学报 ． Suppl． 2 00 CHEMICALOFCHINESEUNIVERSITIES 37～38 4年4月 JOURNAL PMMA基微流控芯片的准分子激光制备方法研究 姚李英，张瑜，刘保安，陈 涛，刘世炳，左铁钏 (北京工业大学中德激光中心，国家产学研中心，激光工程研究院，北京100022) 摘要采用准分子激光微加工技术在PMMA表面加工出了微混合器芯片．实验结果表明，采用准分子激光 微加工技术可以加工出尺寸基本符合要求的、连续的、表面光洁度高和边界整齐的微通道，可以加工出结构 复杂的微流控芯片． 关键词高聚物；微加工技术；微流控芯片 高聚物材料是继硅和玻璃之后一种重要的生物芯片材料[h2。．该类材料具有价格低、种类多、电绝 缘性好、生物兼容性强、光学性能良好和加工简单等特点．目前其加工方法主要有注塑法和热压法． 注塑法加工的微通道表面粗糙．热压法加工的微通道宽度尺寸较差．准分子激光波长短(193或 248 nm)，单光子的能量大，可以直接切断高聚物的C—H键，以冷加工的方式对材料进行去处加工． 因此采用准分子激光微加工技术加工的微结构精度高，边界整齐，陡度高，可以得到更高的深宽比． 1微流控芯片的准分子激光微加工方法 PMMA基微流控芯片的准分子激光微加工方法属于激光微加工领域，其加工过程主要涉及： 可识别的指令；(3)采用准分子微加工系统在PMMA基片表面加工出微流路． 本文设计的微混合器的参数如下：入口、出口为长为500弘m的正方形，微通道的宽为100／．zm，深 为50弘m．根据文献[3-1，准分子激光在19kV的电压下，单个脉冲对PMMA的刻蚀深度为3．3ym， Hz，则加工100 因此要刻蚀50“m深的微通道至少需15个脉冲．设准分子激光器的脉冲重复频率为5 kV； mm／min．综合这些因素所选取的激光加工参数：电压19 ,um宽的微通道，工作台的运动速度为2 能量密度6．28mJ／cm；运动速度2mm／min；重复频率5Hz；刻蚀速率3．3／1m／pulse． 采用该工艺参数加工的微混合器如图1所示，它由2个入口、1个出口和混合区组成． 图1微混合器芯片 T型区的微通道重合，(E)为混合区的半圆型的闭合微通道．因此通过准分子激光可以加工出尺寸基 本符合要求的、连续的、表面光洁度高和边界整齐的微通道．可以加工出结构复杂的微流控芯片． 2进样实验 加工出来的微流控芯片能否投入实际使用，需要对键合后的芯片做进样实验来检测其密封性和能 联系人：姚李英． 万方数据万方数据 38 高等学校化学学报 V01．25 承受的最大压力．芯片的键合采用粘接方式．图2为键合后的微混合器芯片的进样实验． 由图2可以看到，粘接后的微通道具有良好的密封性， 在0．1 MPa的压力下，没有发生侧漏．人口和出口处的密封 性较差，发生了侧漏．导致产生侧漏的原因主要有：(1)在 打孔后再键合，导致出口／人口处粘接后的结合力下降；(2) 出口／入口和外接的输入／输出毛细管的粘接的强度和密封性 差．这些问题可以通过采取以下措施得到解决．(1)将盖片 和基片键合后再打孔；(2)将输入输出口由方型口该为圆 口，并和外接的毛细管子的尺寸匹配好． 图2微混合器芯片进样实验 3实验室最新成果 我们实验室首次在国内进行了PMMA基生物芯片的大功率紫外激光微加工实验．实验所采用的 激光器为德国Lambda nm(KrF激光)，最大单脉冲能 Phy