一种新型的周期可调谐金属光栅的制备.pdf

黯图俯 中文核心期刊 一种新型的周期可调谐金属光栅的制备 徐胜 (江苏科技大学张家港校区，江苏张家港215600) 摘要：介绍了一种制备金属可调谐光栅的新技术。首先采用紫外光刻技术将光栅结构制备至PDMS(聚二 甲基硅氧烷)基底，并在其上蒸镀金属Cr层及Ag层，然后采取金属举离工艺得到金属光栅。利用PDMS 高弹性的特点，通过机械拉伸PDMS纵、横向拉伸程度，对金属光栅周期进行连续调谐，获得预定的目标 周期。实验结果表明，金属光栅调谐范围超过其初始周期的100％。 关键词：金属可调谐光栅；紫外光刻；PDMS(聚二甲基硅氧烷；蒸镀；金属举离 中图分类号：TB383文献标识码：A 文章编号：1002—5561(2011)09—0029—03 Researchonthefabricationof metal period-tunable grating xuSheng of (ZhangjiagangCampus，JiangsuUniversity Scienceand 21 Jiangsu Technology，Zhangjiagang5600，China) Abstract：A for metal new伍bfication isintroduced．The on approach period—tunablegrating gratingpatterns PDMSsubstratewereformedultraviolet andwere onthe and by lithographyfirstly,CrAg evaporatedgrating thenaliR-off was tOthe elastic ofthe of processemployed．Duehighly propertyPDMS，thespatialperiod couldbe varied thePDMS withor to grating by continuouslymechanicallystretching parallel perpendicular lines．The resultsshowthatthe ofthe can 100％ofthe exceed initial grating experimental elongationgrating length． Key metal words：period-tunablegrating：UV 0引言 可调谐范围，我们利用紫外光刻技术将模板上的光栅 可调谐光栅具有周期可调的优点．在天文物理 学、同步辐射、光纤通信等领