光子晶体的发展及制备研究.pdfVIP

华南师范大学学报 （自然科学版） 2006 年2 月 JOURNAL OF SOUTH CHINA NORMAL UNIVERSITY 2006 年第1 期 Feb. 2006 （NATURAL SCIENCE EDITION ） No. 1，2006 文章编号：1000 - 5463（2006 ）01 - 0048 - 06 光子晶体的发展及制备研究 常 伟，范广涵，谭春华，李述体，郑树文，雷 勇，黄 琨 （华南师范大学光电子材料与技术研究所，广东广州510631 ） 摘要：介绍了光子晶体的产生、发展历程和制备方法等，实验研究了采用MOCVD 技术制备的InP 反 蛋白石结构三维光子晶体，获得了较好的填充率和结晶质量. 为制备三维全带隙InP 光子晶体提供 了科学依据. 关键词：光子晶体；制备方法；InP ；MOCVD 中图分类号：TN204 文献标识码：A THE FABRICATION AND REVIEW OF PHOTONIC CR TA CHANG Wei ，FAN Guang - han ，TAN Chun - hua ，LI Shu - ti ，ZHENG Shu - wen ，LEI Yong ，HUANG Kun （Institute of OptoeIectronic MateriaI and TechnoIogy ，South China NormaI University ，Guangzhou 510631，China ） Abstract：Photonic crystaI is a kind of materiaIs with periodic arrangement of different die- Iectric media. A brief introduction is given of photonic crystaI ，incIuding its history ，evoIu- tion ，and fabrication methods. The photonic crystaI of InP three - dimensionaI（3D ）inverse opaI structure is fabricated by MOCVD. The study gets good resuIts and provides a scientific basis for manufacturing InP three - dimensionaI photonic crystaI. Key words：photonic crystaI ；fabrication methods ；InP ；MOCVD 光子晶体（Photonic CrystaI ，简称PC ）即光子禁带材料（Photonic Band Gap MateriaIs ）是介 ［1，2 ］ 电常数（或折射率）被周期性调制，具有光子局域、抑制自发辐射等特性 ，类似于半导体电 ［3 ］ 子能带具有光子带隙的一类物质. 光子相对于电子具备许多不可比拟的优势 ，其信息容量、 效率、传播速度、响应能力、抗干扰、能量损耗、互连能力和并行能力等方面的性能都远远的超 过了电子. ［4 ］ ［5 ］