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基于刚度矩阵法的V型电热微驱动器模型与性能分析张段芹
30 4 Vol． 30 No． 4
第 卷第 期 机械设计与研究
2014 8 2014
年 月 Machine Design and Ｒesearch AUG． ，
文章编号:1006-2343 (2014)04-051-04
V
基于刚度矩阵法的 型电热微驱动器模型与性能分析
张 ， ，
段芹 王 辉 刘建秀
( ， 450002 ，E-mail :dqzhang@ zzuli． edu． cn)
郑州轻工业学院 机电工程学院 郑州
: V ，
摘 要 采用单元刚度矩阵法推导并建立 型电热微驱动器的静态力学模型 获得电热微驱动器的输出
。 ， 、
位移随温度载荷与外力载荷变化的关系表达式 根据此模型 电热微驱动器的输出位移随着温度载荷 梁的长
、 ， ; V
度 宽度的增大均呈现单调上升趋势 而随着负载力的增大单调减小 输出位移随着 型梁的倾斜角的增大先
， ， ， ;
是增大随后减小 并且当倾斜角较大时 微驱动器本身的刚度较大 但输出位移较小 最后采用有限元仿真验证
， V
了此模型的有效性 并提出在一定温度载荷与外力载荷作用下 型电热微驱动器预期输出最大位移的优化设
计方案。
: ; ; ;MEMS
关键词 电热微驱动器 刚度矩阵法 力学模型
中图分类号:TN301 文献标识码:A
DOI:10.13952/j.cnki.jofmdr.2014.0095
Mechanical Model and Performance Analysis of V-shaped
Electrothermal Micro-actuator Based on Stiffness Matrix Method
Zhang Duanqin ，Wang Hui ，Liu Jianxiu
(College of Mechanical and Electrical Engineering ，Zhengzhou University of Light Industry ，Zhengzhou ，450002 ，China)
Abstract :A static mechanical model of V-shaped electrothermal micro-actuator is derived and established based
on stiffness matrix method ，and the relationship expression between output displacement of the
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