基于刚度矩阵法的V型电热微驱动器模型与性能分析张段芹.pdfVIP

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2015-09-30 发布于重庆
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基于刚度矩阵法的V型电热微驱动器模型与性能分析张段芹.pdf

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基于刚度矩阵法的V型电热微驱动器模型与性能分析张段芹

30 4 Vol． 30 No． 4 第卷第期机械设计与研究 2014 8 2014 年月 Machine Design and Ｒesearch AUG．，文章编号:1006-2343 (2014)04-051-04 V 基于刚度矩阵法的型电热微驱动器模型与性能分析张，，段芹王辉刘建秀 ( ， 450002 ，E-mail :dqzhang@ zzuli． edu． cn) 郑州轻工业学院机电工程学院郑州 : V ，摘要采用单元刚度矩阵法推导并建立型电热微驱动器的静态力学模型获得电热微驱动器的输出。，、位移随温度载荷与外力载荷变化的关系表达式根据此模型电热微驱动器的输出位移随着温度载荷梁的长、， ; V 度宽度的增大均呈现单调上升趋势而随着负载力的增大单调减小输出位移随着型梁的倾斜角的增大先，，， ; 是增大随后减小并且当倾斜角较大时微驱动器本身的刚度较大但输出位移较小最后采用有限元仿真验证， V 了此模型的有效性并提出在一定温度载荷与外力载荷作用下型电热微驱动器预期输出最大位移的优化设计方案。 : ; ; ;MEMS 关键词电热微驱动器刚度矩阵法力学模型中图分类号:TN301 文献标识码:A DOI:10.13952/j.cnki.jofmdr.2014.0095 Mechanical Model and Performance Analysis of V-shaped Electrothermal Micro-actuator Based on Stiffness Matrix Method Zhang Duanqin ，Wang Hui ，Liu Jianxiu (College of Mechanical and Electrical Engineering ，Zhengzhou University of Light Industry ，Zhengzhou ，450002 ，China) Abstract :A static mechanical model of V-shaped electrothermal micro-actuator is derived and established based on stiffness matrix method ，and the relationship expression between output displacement of the