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基于刚度矩阵法的V型电热微驱动器模型与性能分析张段芹

30 4 Vol. 30 No. 4 第 卷第 期 机械设计与研究 2014 8 2014 年 月 Machine Design and Research AUG. , 文章编号:1006-2343 (2014)04-051-04 V 基于刚度矩阵法的 型电热微驱动器模型与性能分析 张 , , 段芹 王 辉 刘建秀 ( , 450002 ,E-mail :dqzhang@ zzuli. edu. cn) 郑州轻工业学院 机电工程学院 郑州 : V , 摘 要 采用单元刚度矩阵法推导并建立 型电热微驱动器的静态力学模型 获得电热微驱动器的输出 。 , 、 位移随温度载荷与外力载荷变化的关系表达式 根据此模型 电热微驱动器的输出位移随着温度载荷 梁的长 、 , ; V 度 宽度的增大均呈现单调上升趋势 而随着负载力的增大单调减小 输出位移随着 型梁的倾斜角的增大先 , , , ; 是增大随后减小 并且当倾斜角较大时 微驱动器本身的刚度较大 但输出位移较小 最后采用有限元仿真验证 , V 了此模型的有效性 并提出在一定温度载荷与外力载荷作用下 型电热微驱动器预期输出最大位移的优化设 计方案。 : ; ; ;MEMS 关键词 电热微驱动器 刚度矩阵法 力学模型 中图分类号:TN301 文献标识码:A DOI:10.13952/j.cnki.jofmdr.2014.0095 Mechanical Model and Performance Analysis of V-shaped Electrothermal Micro-actuator Based on Stiffness Matrix Method Zhang Duanqin ,Wang Hui ,Liu Jianxiu (College of Mechanical and Electrical Engineering ,Zhengzhou University of Light Industry ,Zhengzhou ,450002 ,China) Abstract :A static mechanical model of V-shaped electrothermal micro-actuator is derived and established based on stiffness matrix method ,and the relationship expression between output displacement of the

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