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Cr和CrTi底层对CoCrPt薄膜介质的磁和结构性能的影响.pdf
第34卷 第10期 稀有金属材料与工程 一 Vbl．34．No．10
2005年 10月 RAREMETALM值TERIALSANDENGINEERING October2005
Ef|fectofCrandCrTi on
Underlayers
andStructuralPerI．0rmancesofCoCrPt
ThinFilmMedia
Li Xiaof-ei，Li
Zuoyi，Y．ouLong，SongMin，Yang Zhen，ChengXiaomin，LinGengqi
of and
Science
(HuazhongUniVersity Technology’Wuhan430074，china)
Abstract：Theeffectof CrorCrTi onthe of thinfilmswerestudiedto
sputtering underlayersperfbm蛐cesC068Crl7Ptl5
the of media．Itisfoundthatthe increasedfrom56kA-m-1to127
improVemagneticpropertiesrecording coercivi蜉凰is
SandcoerciVe increasedto66％and the100
kA。m-。，squareness squareness铲are 74％，respectively，byinco印orating
nm—thickCr betweentheCoCrPt and mattheCr thicknesshas
underlayer magneticlayer substrate，锄d
glass underlayer
efrectonthe ordertoreducethelatticemismatchbetweentheCr andthe
greater magneticproperties．In underlayermagnetic
Cr was withTielement．WhenTicontentis15 6lmhas andthe
layertheunderlayerdoped at％，the squarein—planeloop
canreach1 60l(A‘m～eVenundeftheconditionof attheroom
coercjVity dj饪hctiondata
sputtering temperature．TheX-豫y
showthattheenhancementof and ofSandp attributedtot
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