MEMS微型双稳态电磁继电器的设计.pdf

第14卷第2期 功能材料与器件学报 VoL14．No．2 OFFUNCTIONALMATERIALSANDDEVICES 2008年4月 JOURNAL Apr．，2008 文章编号：1007—4252(2008)02-0500一04 MEMS微型双稳态电磁继电器的设计 ，李慧娟，尤政，张高飞，杨建中 (清华大学精密仪器与机械学系，北京100084) 摘要：本文利用通电平面螺旋线圈产生磁场特点，采用镜像绕制以及并联连接双线圈的方法，研制 分析其工作原理和过程。经过分析，该继电器在通电电流80～120mA时，开关时间约在0．1ms一 0．2ms之间，因此，其具有体积小、开关速度快、低功耗等优点，并且易于集成和阵列，适用于能源有 限并且可靠性要求高的微型航天器以及便携设备中。 关键词：微机械系统；微继电器；平面螺旋线圈；微机械加工工艺 中图分类号：TH7 文献标识码：A Afastandlow double MEMS consumingstability microrelay power …．——一 一一一… …——…——一——一 LI Gao Jian-zhon91 feil，YANG Hui-juanl，YOUZhen91，ZHANG and ofPrecisionInstruments (Department Mechanology，TsinghuaUniversity，Beijing100084，China) this the fieldcharacteristicelectrified coil Abstract：In paper，withmagnetic by planarspiralapplied， doublecoils7mirror andits7 connectionis introducedinthisdevice．Afastandlow layout parallel smartly double Inicro is withits andmicro tech- theory aching powerconsumingstabilityrelayproposed working and switchedfrom0．1msto0．2mswhencontrolcurrent between80mA nology．Therelay ranges a8 120mA．Itexhibitsthe small、fast switc