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MEMS微型双稳态电磁继电器的设计.pdf
第14卷第2期 功能材料与器件学报 VoL14.No.2
OFFUNCTIONALMATERIALSANDDEVICES
2008年4月 JOURNAL Apr.,2008
文章编号:1007—4252(2008)02-0500一04
MEMS微型双稳态电磁继电器的设计
,李慧娟,尤政,张高飞,杨建中
(清华大学精密仪器与机械学系,北京100084)
摘要:本文利用通电平面螺旋线圈产生磁场特点,采用镜像绕制以及并联连接双线圈的方法,研制
分析其工作原理和过程。经过分析,该继电器在通电电流80~120mA时,开关时间约在0.1ms一
0.2ms之间,因此,其具有体积小、开关速度快、低功耗等优点,并且易于集成和阵列,适用于能源有
限并且可靠性要求高的微型航天器以及便携设备中。
关键词:微机械系统;微继电器;平面螺旋线圈;微机械加工工艺
中图分类号:TH7 文献标识码:A
Afastandlow double MEMS
consumingstability microrelay
power
….——一 一一一…
…——…——一——一
LI Gao Jian-zhon91
feil,YANG
Hui-juanl,YOUZhen91,ZHANG
and
ofPrecisionInstruments
(Department Mechanology,TsinghuaUniversity,Beijing100084,China)
this the fieldcharacteristicelectrified coil
Abstract:In
paper,withmagnetic by planarspiralapplied,
doublecoils7mirror andits7 connectionis introducedinthisdevice.Afastandlow
layout parallel smartly
double Inicro is withits andmicro tech-
theory aching
powerconsumingstabilityrelayproposed working
and
switchedfrom0.1msto0.2mswhencontrolcurrent between80mA
nology.Therelay ranges
a8
120mA.Itexhibitsthe small、fast
switc
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