行波超声波电机伺服控制特性理论和实践的研究.pdf

摘要 摘要 trasonic 超声波电机(ul Motor简称USM)是八十年代发展起来的新型微电机。本文 针对超声波电机及其控制技术的研究现状扣发展趋势，以我国研究技术相对比较成熟并有 UItrasonic 产业化前景的行渡超声波电机(Travel Motor简称TUSM)的伺服控 ing-wavo 制技术为研究对象，以直径60mm的行波超声波电机TUSM60为研究实例，在特性测试、动 稳态性能分析，辨识模型建立、控制策略与控制算法的选择与实现等方面展开研究。本论 具体的研究内容为： 在分析超声波电机研究历史和现状的基础上，结合国内外超声波电机特别是行波超声 波电机控制技术的发展趋势，重点论述了行波超声波电机及其驱动控制技术的研究进展． 介绍行波超声波电机的基本结构，并从该电机的主要理论基础一一压电原理、行波合 成、接触模型出发，分析了行波超声波电机定子质点的运