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ITO镀膜玻璃培训 TCO简介 ITO玻璃简介 ITO玻璃的基本参数 ITO玻璃的生产流程 ITO玻璃的标识 第一讲 TCO简介 TCO —Transparent Conductive Oxide 透明导电氧化物，是通过物理或者化学方法制作的导电氧化物薄膜。主要包括In、Sn、Zn和Cd的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。 　 导电原理： 在导电能力很弱的本征半导体中掺入微量的其他元素，其导电性发生显著变化。这些微量元素被称为杂质，掺杂后的半导体称为杂质半导体。 TCO的基本要求 高的透过率——在可见光范围内T80% 高的电导率——体电阻率R 10-3 Ω·cm 常见的TCO薄膜 ① ● 透明 ● 导电 ● 易酸刻蚀 ● 耐碱腐蚀 常见的TCO薄膜 ② AZO—氧化锌铝（Aluminum zinc oxide） 常见的TCO薄膜 ③ FTO—掺氟二氧化锡 （SnO2：F ） AGC/NSG的FTO玻璃性能对比 常见的TCO薄膜 CdO — 氧化镉，有中等毒性，有致癌可能性。 GZO — 氧化锌镓，与AZO类似。 ATO — 氧化锡锑，导电性是ITO的1/6左右。 其他的透明导电薄膜 金属薄膜 — 薄的金属层（10nm以内）大多数是透